Harter Filz mit CVD-SiC-Beschichtung

Als wichtiger Bestandteil der halbmondförmigen Graphitteile mit SiC-Beschichtung spielt der CVD-SiC-beschichtete Hartfilz eine wichtige Rolle bei der Wärmeerhaltung während des epitaktischen Wachstumsprozesses von SiC. VeTek Semiconductor ist ein ausgereifter Hersteller und Lieferant von Hartfilz mit CVD-SiC-Beschichtung, der seinen Kunden geeignete und hervorragende Hartfilzprodukte mit CVD-SiC-Beschichtung anbieten kann. VeTek Semiconductor freut sich darauf, Ihr langfristiger Partner in der Epitaxieindustrie zu werden.

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Produktbeschreibung

CVD-SiC-beschichteter Hartfilz ist eine Komponente, die durch CVD-SiC-Beschichtung auf der Oberfläche von Graphit-Hartfilz erhalten wird und als Wärmeisolationsschicht fungiert.CVD-SiC-Beschichtungverfügt über hervorragende Eigenschaften wie hohe Temperaturbeständigkeit, hervorragende mechanische Eigenschaften, chemische Stabilität, gute Wärmeleitfähigkeit, elektrische Isolierung und hervorragende Oxidationsbeständigkeit. Harter Filz mit CVD-SiC-Beschichtung weist daher eine gute Festigkeit und hohe Temperaturbeständigkeit auf und wird normalerweise zur Wärmeisolierung und Unterstützung epitaktischer Reaktionskammern verwendet.

Eigenschaften von Hartfilz aus hochreinem Graphit:

● Hohe Temperaturbeständigkeit: Harter Filz mit CVD-SiC-Beschichtung kann je nach Materialart Temperaturen von bis zu 1000 °C oder mehr standhalten.

● Chemische Stabilität: Harter Filz mit CVD-SiC-Beschichtung kann in der chemischen Umgebung des epitaktischen Wachstums stabil bleiben und der Erosion korrosiver Gase standhalten.

● Wärmedämmleistung: Harter Filz mit CVD-SiC-Beschichtung hat eine gute Wärmeisolationswirkung und kann wirksam verhindern, dass Wärme aus der Reaktionskammer abgeleitet wird.

● Mechanische Festigkeit: Hartfilz mit SiC-Beschichtung weist eine gute mechanische Festigkeit und Steifigkeit auf, so dass er auch bei hohen Temperaturen seine Form beibehalten und andere Komponenten stützen kann.

Starrer GraphitfilzFunktion:

● Wärmeisolierung: Hartfilz mit CVD-SiC-Beschichtung sorgt für WärmedämmungSiC-EpitaxieReaktionskammern, hält die Hochtemperaturumgebung in der Kammer aufrecht und gewährleistet die Stabilität des epitaktischen Wachstums.

● Strukturelle Unterstützung: Hartfilz mit CVD-SiC-Beschichtung sorgt für HaltHalbmondteileund andere Komponenten, um mögliche Verformungen oder Schäden unter hoher Temperatur und hohem Druck zu verhindern.

● Gasflusskontrolle: Es hilft, den Gasfluss und die Gasverteilung in der Reaktionskammer zu steuern, sorgt für die Gleichmäßigkeit des Gases in verschiedenen Bereichen und verbessert so die Qualität der Epitaxieschicht.

VeTek Semiconductor kann Ihnen maßgeschneiderten Hartfilz mit CVD-SiC-Beschichtung entsprechend Ihren Anforderungen liefern. VeTek Semiconductor wartet auf Ihre Anfrage.

Die Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD-SiC-Beschichtung:

Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD-SiC-Beschichtung
Eigentum	Typischer Wert
Kristallstruktur	Polykristalline FCC-β-Phase, hauptsächlich (111)-orientiert
Dichte	3,21 g/cm³
Härte	2500 Vickers-Härte (500 g Belastung)
Körnen Siee	2~10μm
Chemische Reinheit	Chemische Reinheit: 99,99995 %
Wärmekapazität	640 J·kg^-1·K^-1
Sublimationstemperatur	2700℃
Biegefestigkeit	415 MPa RT 4-Punkt
Elastizitätsmodul	430 Gpa 4pt Biegung, 1300℃
Wärmeleitfähigkeit	300W·m^-1·K^-1
Wärmeausdehnung (CTE)	4,5×10^-6K^-1

CVD-SiC-Beschichtung von Hartfilzwerkstätten:

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