Mit Glaskohlenstoff beschichteter Graphittiegel für E-Beam-Pistole

Als professioneller Hersteller möchte VeTek Semiconductor Ihnen hochwertige, mit Glaskohlenstoff beschichtete Graphittiegel für E-Beam-Pistolen anbieten.

Mit Glaskohlenstoff beschichtete Graphittiegel für E-Beam-Pistolen sind mit den Verdampfungsquellen verschiedener Hersteller kompatibel und in verschiedenen Materialien erhältlich. Zu den gängigen Optionen gehören Kohlenstoffgraphit und glasartig beschichteter Kohlenstoffgraphit, die für ihre günstigen thermischen Eigenschaften und ihre Erschwinglichkeit bekannt sind.

Kohlenstoffgraphit ist ein dichtes, polykristallines Material mit miteinander verbundener Porosität. Es kann bis zu einem Grad von 5 ppm oder weniger gereinigt werden.

Glasig beschichtete Kohlenstoff-Graphit-Auskleidungen bestehen aus hochwertigem Kohlenstoff, der einem Backprozess bei über 1.400 °C unterzogen wird, um jegliche Porosität zu beseitigen, was zu einer porenfreien Oberfläche führt.

Als Alternative zu glasartig beschichtetem Graphit werden die Tiegelauskleidungen von VeTek Semiconductor einer Behandlung mit amorphem Kohlenstoff unterzogen, wodurch eine harte, abriebfeste und nicht poröse Oberfläche entsteht.

Merkmale:

-Als Substrate können verschiedene Graphitmaterialien verwendet werden.

- Verliert nicht die Eigenschaften des Graphitsubstrats.

-Es kann die Produktion von Graphitpulver reduzieren.

-Erhöhte Haltbarkeit und Schutz vor Kratzern und anderer Reibung.

Anwendungen:

-Teile für Silizium-Einkristall-Ziehgeräte

-Teile für epitaktisches Wachstum

-Matrizen für Strangguss

-Glasversiegelungsvorrichtungen

VeTek Halbleiterproduktionswerkstatt

Überblick über die Industriekette der Halbleiterchip-Epitaxie: