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TaC-beschichteter Deep-UV-LED-Suszeptor
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TaC-beschichteter Deep-UV-LED-Suszeptor

VeTek Semiconductor ist ein integrierter Anbieter, der sich mit Forschung und Entwicklung, Produktion, Design und Vertrieb von TaC-Beschichtungen beschäftigt. Wir sind auf die Herstellung hochmoderner TaC-beschichteter UV-LED-Suszeptoren spezialisiert, die entscheidende Komponenten im LED-Epitaxieprozess sind. Unser TaC-beschichteter Deep-UV-LED-Suszeptor bietet hohe Wärmeleitfähigkeit, hohe mechanische Festigkeit, verbesserte Produktionseffizienz und epitaktischen Waferschutz. Willkommen bei uns.

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Produktbeschreibung

VeTek Semiconductor ist ein führender chinesischer Hersteller, Lieferant und Exporteur, der sich auf SiC-Beschichtungen und TaC-Beschichtungen spezialisiert hat. Wir legen großen Wert auf Produktqualität, was zu einer hohen Kundenzufriedenheit mit TaC-beschichteten UV-LED-Suszeptoren führt. VeTek Semiconductor bietet außergewöhnliches Design, hochwertige Materialien, hohe Leistung und wettbewerbsfähige Preise. Darüber hinaus ist unser perfekter After-Sales-Service ein wesentlicher Bestandteil ihres Angebots. Wenn Sie an unseren TaC-beschichteten UV-LED-Suszeptor-Dienstleistungen interessiert sind, können Sie sich für zeitnahe Unterstützung und eine schnelle Antwort an uns wenden.

Die LED-Epitaxie ist ein wichtiger Schritt in der LED-Herstellung, bei der Materialien auf einem bestimmten Gitter abgeschieden werden, um die lichtemittierende Schicht zu bilden, die es der LED ermöglicht, Licht zu emittieren. Die LED-Epitaxie kann in verschiedene Typen eingeteilt werden, darunter GaN-Epitaxie, InGaN-Epitaxie, AlGaInP-Epitaxie, AlInGaP-Epitaxie und SiC-Epitaxie. Für LEDs unterschiedlicher Wellenlängen wie Blau, Grün, Rot, Orange und Gelb eignen sich unterschiedliche Epitaxiearten.

Während des LED-Herstellungsprozesses müssen epitaktische Wafer gehandhabt und transportiert werden. In dieser Hinsicht bieten TaC-beschichtete UV-LED-Suszeptoren mehrere Vorteile:

Hohe Wärmeleitfähigkeit: Die TaC-Beschichtung weist eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit auf, leitet Wärme effektiv ab und verbessert die Wärmeableitungseffizienz. Dies verhindert eine Überhitzung der Epitaxie-Wafer und verbessert so die LED-Lebensdauer und Leistungsstabilität.

Schutz der Epitaxie-Wafer: Der TaC-beschichtete Deep-UV-LED-Suszeptor bildet eine Schutzschicht, die die Epitaxie-Wafer vor mechanischer Beschädigung und Korrosion schützt. Es weist eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit auf, schützt die Wafer vor chemischen Substanzen und Feuchtigkeit und bewahrt ihre Integrität.

Hohe mechanische Festigkeit: TaC-beschichtete UV-LED-Suszeptoren verfügen über eine hohe Härte und mechanische Festigkeit, sodass sie äußeren Stößen und Belastungen standhalten können. Dies gewährleistet die Sicherheit und Stabilität der Epitaxie-Wafer während der Handhabungs- und Transferprozesse.

Verbesserte Produktionseffizienz: TaC-beschichteter UV-LED-Suszeptor bietet hervorragende Verschleißfestigkeit und Korrosionsbeständigkeit und reduziert Waferschäden und Verunreinigungen. Dies reduziert Verluste während der Produktion und steigert die Produktionseffizienz.

Zusammenfassend bietet TaC-beschichteter UV-LED-Suszeptor eine hohe Wärmeleitfähigkeit, starken Schutz, hohe mechanische Festigkeit und eine verbesserte Produktionseffizienz bei der LED-Herstellung. Sie unterstützen die Handhabung und den Transfer epitaktischer Wafer und tragen so zu einer verbesserten LED-Qualität und -Leistung bei.


Grundlegende physikalische Eigenschaften der TaC-Beschichtung:

Physikalische Eigenschaften der TaC-Beschichtung
Dichte 14,3 (g/cm³)
Spezifischer Emissionsgrad 0.3
Wärmeausdehnungskoeffizient 6,3 10-6/K
Härte (HK) 2000 HK
Widerstand 1×10-5 Ohm*cm
Thermische Stabilität <2500℃
Graphitgrößenänderungen -10~-20um
Beschichtungsdicke ≥20um typischer Wert (35um±10um)


VeTek Halbleiterproduktionswerkstatt


Überblick über die Industriekette der Halbleiterchip-Epitaxie:


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