Endeffektor für die Waferhandhabung

Der Wafer-Handling-Endeffektor ist eine Art Roboterhand, die speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde und normalerweise zum Handhaben und Übertragen verwendet wirdWaffeln. Die Produktionsumgebung von Wafern erfordert eine extrem hohe Sauberkeit, da winzige Partikel oder Verunreinigungen dazu führen können, dass Chips während der Verarbeitung ausfallen. Aufgrund ihrer hervorragenden physikalischen und chemischen Eigenschaften werden bei der Herstellung dieser Zeiger häufig Keramikmaterialien verwendet.

Im Vergleich zu herkömmlichen Metallmaterialien sind die Vorteile vonKeramikin Materialien spiegeln sich vor allem in folgenden Aspekten wider:

    •Korrosionsbeständigkeit: Wafer sind während des Herstellungsprozesses einer Vielzahl von Chemikalien ausgesetzt, und keramische Materialien können Korrosion wirksam widerstehen und den langfristigen Einsatz von Geräten gewährleisten.

    •Geringe Partikelfreisetzung: Da Keramik eine äußerst geringe Partikelfreisetzung aufweist, entstehen bei der Handhabung kaum Partikel, wodurch das Risiko einer Kontamination des Wafers verringert wird.

    •Gute Hochtemperaturbeständigkeit: In einigen Prozessen müssen Wafer in einer Umgebung mit hohen Temperaturen gehandhabt werden, und die hohe Temperaturbeständigkeit der Wafer-Handhabungsroboter aus keramischen Materialien ermöglicht es ihnen, sich an diese rauen Umgebungen anzupassen.

    •Elektrische Isolierung: Keramik ist ein natürlicher elektrischer Isolator, der für Verarbeitungsprozesse mit Strom unerlässlich ist und verhindern kann, dass sich statische Elektrizität auf Wafer auswirkt.

Herkömmliche Wafer-Handhabungsgeräte bestehen aus Aluminium, VetekSemi Wafer Handling SiC-Boote aus SiC bieten viele Vorteile. SiC ist für seine hervorragende mechanische Festigkeit, hervorragende thermische Stabilität und Korrosionsbeständigkeit bekannt. Diese Eigenschaften machen es zu einem idealen Material für Wafer-Handling-Roboterarme, bei denen Sauberkeit, Präzision und Zuverlässigkeit von entscheidender Bedeutung sind.

Mit der kontinuierlichen Weiterentwicklung der Halbleitertechnologie hat die Größe der Wafer schrittweise zugenommen, was zu höheren Anforderungen an das Design und die Herstellung von Wafer-Handling-Endeffektoren geführt hat. Mit der Verbesserung der Automatisierungstechnik werden sich die Präzision, Geschwindigkeit und Zuverlässigkeit von Endeffektoren für die Waferhandhabung in Zukunft weiter verbessern.

Als eine der Kernausrüstungen in der Halbleiterfertigung nehmen Wafer-Handhabungsroboter aufgrund ihrer hohen Sauberkeit, Korrosionsbeständigkeit und hohen Temperaturstabilität eine wichtige Position in Halbleiterfabriken ein. VeTek Semiconductor kann seinen Kunden maßgeschneiderte Wafer Handling End Effector-Produkte sowie Pre-Sales- und After-Sales-Services anbieten und freut sich auf Ihre Beratung.

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