Chipherstellung: Ein Prozessablauf von MOSFET

Der Chipherstellungsprozess umfasst Fotolithographie,Radierung, DiffusionB. Dünnschicht, Ionenimplantation, chemisch-mechanisches Polieren, Reinigen usw. In diesem Artikel wird grob erläutert, wie diese Prozesse nacheinander integriert werden, um einen MOSFET herzustellen.

1.Wir haben zuerst eineSubstratmit einer Siliziumreinheit von bis zu 99,9999999 %.

2. Wachsen Sie eine Oxidschicht auf dem Siliziumkristallsubstrat.

3. Den Fotolack gleichmäßig aufschleudern.

4. Die Fotolithographie wird durch eine Fotomaske durchgeführt, um das Muster auf der Fotomaske auf den Fotolack zu übertragen.

5. Der Fotolack im lichtempfindlichen Bereich wird nach der Entwicklung abgewaschen.

6. Ätzen Sie den Oxidfilm, der nicht vom Fotolack bedeckt ist, durch Ätzen weg, so dass das Fotolithografiemuster auf das Foto übertragen wirdWafer.

7. Reinigen und entfernen Sie den überschüssigen Fotolack.

8. Tragen Sie einen weiteren Verdünner aufOxidfilm. Danach bleibt durch die obige Fotolithographie und Ätzung nur noch der Oxidfilm im Gate-Bereich erhalten.

9. Lassen Sie eine Schicht Polysilizium darauf wachsen

10. Verwenden Sie wie in Schritt 7 Fotolithographie und Ätzen, um nur das Polysilizium auf der Gate-Oxidschicht zu belassen.

11.Bedecken Sie die Oxidschicht und das Gate durch fotolithografische Reinigung, so dass der gesamte Wafer bedeckt istionenimplantiert, und es wird eine Quelle und einen Abfluss geben.

12. Wachsen Sie eine Schicht Isolierfilm auf dem Wafer.

13. Ätzen Sie die Kontaktlöcher von Source, Gate und Drain durch Fotolithographie und Ätzen.

14. Tragen Sie dann Metall im geätzten Bereich auf, sodass leitende Metalldrähte für Source, Gate und Drain vorhanden sind.

Schließlich wird durch eine Kombination verschiedener Prozesse ein kompletter MOSFET hergestellt.

Tatsächlich besteht die untere Schicht des Chips aus einer großen Anzahl von Transistoren.

MOSFET-Herstellungsdiagramm, Source, Gate, Drain

Verschiedene Transistoren bilden Logikgatter

Logikgatter bilden Recheneinheiten

Schließlich handelt es sich um einen Chip in der Größe eines Fingernagels