Halbleiter-Fused-Quarz-Ring

Die Rolle des Halbleiter-Quarzglasrings von VeTek im Ätzprozess

DerHalbleiter-Ätzverfahrenist ein kritischer Teil des Herstellungsprozesses, der durch das Entfernen bestimmter Bereiche des Wafers komplexe Schaltkreismuster bildet. Für diesen Prozess sind Materialien erforderlich, die rauen Bedingungen standhalten und im Langzeitbetrieb eine stabile Leistung aufrechterhalten. Die Quarzglasringe von VeTek sind darauf optimiert, diese hochpräzisen Anforderungen perfekt zu erfüllen und die Effizienz und Zuverlässigkeit des zu gewährleistenÄtzverfahren.

Die Hauptvorteile des Halbleiter-Quarzglasrings von VeTek

1. Beispiellose Reinheit

Die Quarzglasringe von VeTeksemi haben ein SiO₂Reinheit von bis zu 99,995 % bis 99,999 %. Dieser hohe Reinheitsgrad reduziert wirksam das Risiko einer Prozesskontamination und gewährleistet eine hohe Qualität und Konsistenz der Ätzergebnisse. Bei der Halbleiterfertigung können selbst sehr kleine Verunreinigungen die endgültige Leistung des Geräts beeinträchtigen. Daher ist eine hohe Reinheit für die Verbesserung der Produktqualität von entscheidender Bedeutung.

2. Hervorragende thermische Stabilität

Ringe aus Quarzglas sind in der Lage, unter extremen Temperaturbedingungen eine hervorragende Stabilität beizubehalten, mit einer Betriebstemperatur von bis zu 1250 °C und einer Erweichungstemperatur von bis zu 1730 °C. Dies ermöglicht es ihnen, die strukturelle Integrität aufrechtzuerhalten und Leistungseinbußen in Ätzumgebungen mit hohen Temperaturen zu vermeiden.

3.Sehr niedriger Ausdehnungskoeffizient

Der niedrige Wärmeausdehnungskoeffizient des Quarzrings verleiht ihm eine hohe Beständigkeit gegen Temperaturschocks. Selbst bei schnellen Temperaturänderungen während des Ätzvorgangs behält der Quarzring seine Stabilität bei und ist nicht anfällig für Risse oder Schäden durch thermische Belastung.

4. Ausgezeichnete chemische Beständigkeit

Die Quarzglasringe von VeTek weisen eine starke Säure- und Alkalibeständigkeit auf und können verschiedenen chemischen Reagenzien widerstehen, die im Ätzprozess verwendet werden. Diese Funktion gewährleistet einen langfristig stabilen Betrieb in komplexen chemischen Umgebungen und verlängert die Lebensdauer.

5. Keine Mikroblasen und geringer Hydroxylgehalt

Die Quarzringe in Halbleiterqualität von VeTeksemi kontrollieren den Mikroblasen- und Hydroxylgehalt streng, um ihre Stabilität und Zuverlässigkeit in hochpräzisen Ätzprozessen sicherzustellen. Ein zu hoher Mikroblasen- und Hydroxylgehalt kann zu Prozessfehlern führen und die Leistung des Endprodukts beeinträchtigen.

6. Geringe Wärmeleitfähigkeit und hervorragende dielektrische Eigenschaften

Ringe aus Quarzglas haben eine extrem niedrige Wärmeleitfähigkeit und Dielektrizitätskonstante, und ihr Verlustfaktor liegt nahe am niedrigsten Wert aller bekannten Materialien. Eine niedrige Wärmeleitfähigkeit reduziert effektiv das Risiko einer Waferüberhitzung, während hervorragende dielektrische Eigenschaften eine gute elektrische Isolierung gewährleisten, elektrische Störungen reduzieren und so die Gesamteffizienz des Ätzprozesses verbessern.

Durch diese Eigenschaften stellen die Quarzglasringe von VeTeksemi eine stabile und zuverlässige Lösung in der Halbleiterfertigung dar und tragen zum reibungslosen Ablauf hochpräziser Ätzprozesse bei.

Als fortschrittlicher Hersteller und Lieferant von Halbleiterquarzprodukten bietet VeTeksemi eine Vielzahl von Quarzprodukten an, zHalbleiter-Quarztank, Quarz-Wafer-Boot, Glasglocke aus Halbleiter-QuarzUndSchmelztiegel aus Quarzglas. VeTek Semiconductor ist bestrebt, fortschrittliche und anpassbare Technologie- und Produktlösungen für die Halbleiterindustrie bereitzustellen. Wir hoffen aufrichtig, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.