Glasglocke aus Halbleiter-Quarz

Vetek Semiconductor ist ein professioneller Hersteller und Lieferant von Halbleiter-Quarzglocken in China. Unsere Halbleiter-Quarzglocke wird häufig in Schlüsselkomponenten von Halbleiterfertigungsanlagen eingesetzt, insbesondere in CVD-, Diffusions-, Oxidations- und PVD-Prozessen. Vetek Semiconductor ist bestrebt, fortschrittliche Halbleiter-Quarzglockenprodukte und technische Lösungen für die Halbleiterindustrie bereitzustellen. Begrüßen Sie Ihre weiteren Anfragen.

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Produktbeschreibung

SamenHalbleiterQuarz-Glockespielt mehrere Schlüsselrollen in der Halbleiterverarbeitung. Die Vakuumsystem für VakuumglockenBietet nicht nur eine stabile und kontrollierte Reaktionsumgebung, sondern gewährleistet durch seine hervorragende thermische Stabilität, chemische Inertheit und optische Transparenz auch die Effizienz und Präzision verschiedener Prozesse. Diese Eigenschaften bestimmen auch dasGlockenvakuumkammerist ein unverzichtbares Komponentenprodukt im Halbleiterherstellungsprozess.

SamenHalbleiterquarz schafft eine abgedichtete Verarbeitungsumgebung, die eine gleichmäßige Verteilung der Prozessgase und die Reaktion mit der Waferoberfläche unter kontrollierten Bedingungen ermöglicht. Daher,Glasglocke aus Halbleiter-Quarzwird normalerweise in Prozessen wie CVD, Diffusion und Oxidation verwendet, um die Zusammensetzung und den Druck der Atmosphäre genau zu steuern und so die Gleichmäßigkeit des Films und die Reinheit des Materials sicherzustellen.

Gleichzeitig weisen Quarzmaterialien eine ausgezeichnete thermische Stabilität, eine hohe Temperaturbeständigkeit (die Hochtemperaturumgebung bei der Halbleiterverarbeitung beträgt normalerweise bis zu 1000 °C oder mehr) und die Produkteigenschaften auf, während des Erhitzens und Abkühlens eine stabile Form und Größe beizubehalten. Dies bestimmt, dass dieQuarz-Glockekann die Gleichmäßigkeit der Waferoberflächentemperatur in der Hochtemperaturumgebung der Diffusion und Oxidation vollständig gewährleisten und dadurch die Qualität und Gleichmäßigkeit der abgeschiedenen oder diffundierten Schicht verbessern.

Noch wichtiger ist,Hochreiner Quarz von Vetek Semiconductor reagiert in Hochtemperaturumgebungen nicht leicht mit Prozessgasen und weist eine starke Korrosionsbeständigkeit auf. Diese Produkteigenschaft bestimmt, dass bei Prozessen, bei denen korrosive Gase verwendet werden (z. B. einige CVD-Prozesse),Glasglocke aus Halbleiter-Quarzkann die chemische Stabilität vollständig aufrechterhalten und so eine Kontamination von Halbleiterbauelementen vermeiden.

VeTek SemiconductorQuarz-Glocke: