Halbleiter-Quarztank

Halbleiter-Quarztanks bestehen aus hochreinem Quarz in Halbleiterqualität und bieten eine hervorragende chemische Beständigkeit gegenüber einer Vielzahl korrosiver Chemikalien, darunter Schwefelsäure (H2SO4), Wasserstoffperoxid (H2O2) und Standard-Reinigungslösungen (SC1).

Quarztanks spielen eine wichtige Rolle im Wafer-Herstellungsprozess, insbesondere bei der Wafer-Reinigung. Während der Produktion werden Wafer oft mit speziellen Materialien maskiert, um eine präzise Ätzung oder eingeschränkte Diffusionsbereiche zu ermöglichen. Diese Materialien müssen nach jedem Schritt vollständig entfernt werden, um sicherzustellen, dass die Wafer in den nächsten Prozess gelangen können. Quarz-Reinigungstanks entfernen Rückstände sehr effizient und verhindern so, dass Partikel nachfolgende Prozesse verunreinigen.

Eine der wichtigsten Eigenschaften von Halbleiter-Quarztanks ist ihre KorrosionsbeständigkeitNassverarbeitung. Quarztanks sind so konzipiert, dass sie den bei den Reinigungs- und Ätzprozessen verwendeten stark korrosiven Chemikalien standhalten, ohne zu reagieren. Dadurch wird die Wirksamkeit der Prozesschemikalien sichergestellt und unerwünschte chemische Reaktionen vermieden, die sich auf die Waferqualität auswirken.

VeTek-Halbleiterquarztanks tragen dazu bei, das Risiko einer Partikelkontamination während der Waferreinigung zu verringern. Seine sorgfältig konzipierten Heiz- und Zirkulationsmodelle können eine präzise Temperaturkontrolle ermöglichen und eine kontinuierliche Zirkulation der Reinigungslösungen aufrechterhalten, um Reinigungseffizienz und Gründlichkeit sicherzustellen.Darüber hinaus ermöglicht die hohe Hitzebeständigkeit der VeTek-Quarztanks, dass sie Betriebstemperaturen von bis zu 190 °C standhalten und sich für Reinigungs- oder Ätzprozesse eignen, die eine Wärmebehandlung erfordern. Die Aufrechterhaltung der strukturellen Stabilität und der hervorragenden Leistung unter Hochtemperaturbedingungen ist für Prozesse mit strenger Temperaturkontrolle von entscheidender Bedeutung.

Quarztanks weisen außerdem eine geringe Wärmeausdehnung und eine hohe Temperaturwechselbeständigkeit auf, wodurch das Risiko von Rissen oder Verformungen durch Temperaturschwankungen wirksam verringert werden kann und langfristige Stabilität und Zuverlässigkeit gewährleistet werden. Aufgrund seiner hervorragenden thermischen Eigenschaften behält es seine Integrität auch bei schnellen Temperaturänderungen bei und eignet sich für Nassverarbeitungsprozesse mit präzisen Anforderungen.

Ein großer Vorteil ist auch die hohe Transparenz der VeTek-Quarztanks. Das transparente Quarzmaterial ermöglicht es Bedienern, den Status von Wafern und Lösungen während der Verarbeitung in Echtzeit zu überwachen und so die Genauigkeit der Prozesssteuerung zu verbessern. Um die Konsistenz der Reinigungs- und Ätzprozesse sicherzustellen, ist die visuelle Überwachung besonders wichtig.

VeTek nutzt fortschrittliche Prozesstechnologien zur Herstellung hochwertiger Halbleiter-Quarztanks, einschließlich Diamantklingen und Laserschneidtechnologie, um genaue Zellabmessungen und Oberflächenbeschaffenheit sicherzustellen. Unser hochglanzpoliertes Quarzoberflächendesign reduziert die Gefahr der Partikelbildung und Kontamination weiter, wird von erfahrenen Quarzschweißern mit hoher Festigkeit geschweißt und kann je nach Kundenwunsch individuell angepasst werden.

Um die Haltbarkeit und Thermoschockbeständigkeit des Quarztanks zu verbessern, verwendet VeTek außerdem einen Glühprozess, um thermische Spannungen zu beseitigen. Durch diese Behandlung werden die allgemeine Haltbarkeit und thermische Stabilität des Quarztanks verbessert.

VeTeksemi bietet eine Vielzahl kundenspezifischer Größen und Konfigurationen von Quarztanks an, um den Anforderungen verschiedener Halbleiterfertigungsprozesse gerecht zu werden. Wir sind in der Lage, Quarztanks entsprechend den Kundenanforderungen anzupassen, einschließlich hochfester Schweißeinlässe, Sondenhalter usw., um sicherzustellen, dass jedes Produkt genau den Kundenspezifikationen entspricht.

Als fortschrittlicher Hersteller und Lieferant von Halbleiterquarzprodukten bietet VeTeksemi eine Vielzahl hochwertiger Quarzdiffusionsboote an.Quarz-Wafer-Boot, Halbleiter-Quarzglockeund andere Produkte. VeTek Semiconductor ist bestrebt, fortschrittliche und anpassbare Technologie- und Produktlösungen für die Halbleiterindustrie bereitzustellen. Wir hoffen aufrichtig, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.