Fortschrittlicher poröser Graphit

Advanced Porous Graphite ist, wie der Name schon sagt, eine Graphitart, die in ihrer Struktur miteinander verbundene Hohlräume oder Poren enthält. Die Größe dieser Poren kann stark variieren, was sich auf die Leistungseigenschaften des Materials auswirkt.

Eigenschaften von hochentwickeltem porösem Graphit:

Große Oberfläche und starke Adsorptionskapazität: Einer der herausragendsten Vorteile von porösem Graphit ist seine viel größere Oberfläche im Vergleich zu nichtporösem Graphit, was ihn sehr adsorbierend macht.

Hervorragende thermische und elektrische Leitfähigkeit: Poröser Graphit hat eine ausgezeichnete thermische und elektrische Leitfähigkeit. Diese Eigenschaft ist besonders wichtig bei Anwendungen, die Wärmeableitung oder elektrische Leitfähigkeit erfordern.

Hervorragende mechanische Festigkeit: Die mechanische Festigkeit von porösem Graphit hängt von seiner Porenstruktur und seinem Herstellungsprozess ab. Die mechanische Festigkeit von porösem Graphit ist nicht so gut wie die von nichtporösem Graphit, aber seine mechanischen Eigenschaften sind immer noch ausgezeichnet.

Chemische Inertheit: Als Graphitprodukt ist poröser Graphit chemisch inert und kann in korrosiven Umgebungen eingesetzt werden. Durch die chemische Inertheit kann poröser Graphit in chemischen Prozessen eingesetzt werden, die Beständigkeit gegenüber Säuren, Basen und Lösungsmitteln erfordern.

Herstellbarkeit und hohe Anpassbarkeit: Die Porenstruktur von porösem Graphit lässt sich vielfältig anpassen. Um die vom Kunden gewünschte Porengröße und -verteilung zu erreichen, können Techniken wie die chemische Gasphasenabscheidung eingesetzt werden.

Anwendungen von Advanced Porous Graphite:

SiC-Kristallwachstum: Studien haben gezeigt, dass beim Kristallwachstum von SiC die Verwendung von porösem Graphit dazu beiträgt, die Anzahl von Mikrotubuli und anderen Defekten zu verringern und den Gehalt an Verunreinigungselementen im Kristall zu verringern, sodass poröser Graphit eine große Hilfe bei der Herstellung von sein kann SIC-Kristalle.

Waferherstellung: Aufgrund seiner hervorragenden Wärmeleitfähigkeit und Korrosionsbeständigkeit kann poröser Graphit zur Herstellung von Waferträgern wie Graphitschiffchen und Graphitspannfuttern verwendet werden. Der poröse Graphit kann in Umgebungen mit hohen Temperaturen stabil arbeiten und trägt dazu bei, dass der Wafer eine gleichmäßige Temperaturverteilung aufrechterhält und so die Verarbeitungsgenauigkeit gewährleistet.

Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) : Poröser Graphit ist hochtemperaturbeständig und chemisch inert und wird daher häufig als Reaktorauskleidung und Elektrodenmaterial im Rahmen des CVD-Prozesses verwendet, um eine qualitativ hochwertige Filmabscheidung zu fördern.

Wärmeableitung von Halbleiterbauelementen: Die hervorragende Wärmeleitfähigkeit von porösem Graphit macht es zur idealen Wahl für Wärmeableitungslösungen in Halbleiterbauelementen. Es kann zu einem Kühlkörper oder einem thermischen Schnittstellenmaterial verarbeitet werden, um eine schnelle Wärmeableitung zu unterstützen und die Arbeitseffizienz und Lebensdauer des Geräts zu verbessern.

Ätz- und Ätzverfahren: Im Trockenätzprozess der Halbleiterherstellung kann poröser Graphit als Elektrodenmaterial oder Kathodenmaterial verwendet werden. Seine Korrosionsbeständigkeit und elektrische Leitfähigkeit tragen dazu bei, dass er der Erosion durch korrosives Plasma standhält und so die Stabilität und Präzision des Ätzprozesses gewährleistet.

Hochreine Anwendungen: Poröser Graphit wird raffiniert, um die strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie an die Materialreinheit zu erfüllen und die Auswirkungen von Verunreinigungen zu reduzieren

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