Disc-Receiver

Vetek Semiconductor bietet hochmoderne Graphitscheiben-Suszeptoren. Die SiC-Beschichtung bietet hervorragende thermische Stabilität, hervorragende chemische Beständigkeit und verbesserte Prozessgleichmäßigkeit und sorgt so für optimale Leistung und Zuverlässigkeit. Erleben Sie die nächste Stufe der Effizienz und Präzision mit dem SiC-beschichteten Disc Susceptor von Vetek Semiconductor.

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Produktbeschreibung

Der Graphite Disc Susceptor von Vetek Semiconductor ist ein Hochleistungsprodukt für fortschrittliche Halbleiterfertigungsprozesse. Unser Graphitscheibensuszeptor wurde entwickelt, um die anspruchsvollen Anforderungen der Branche zu erfüllen und außergewöhnliche Leistung und Zuverlässigkeit zu bieten.

Dieser Graphitscheibensuszeptor ist OEM für die Planetenreaktorplattform AIX G5.

GaN-auf-Si-MOCVD wird für die LED-Epitaxieproduktion verwendet, und der Aixtron G5-Reaktor verbessert die Ausbeute und Gleichmäßigkeit der MOCVD-Plattform. Ein vollständig gedrehtes, symmetrisches, gleichmäßiges Muster auf fünf 200-mm-Wafern unter Verwendung eines Siliziumsubstrats mit Standarddicke und der Kontrolle des Wafer-Biegeverhaltens formalisierte, was sie für die Siliziumherstellung brauchten.

Der hochreine Graphit-Scheibensuszeptor von Vetek Semiconductor für GaN-auf-Si-MOCVD ist eine zuverlässige und kostengünstige Lösung für fortschrittliche Halbleiterfertigungsprozesse.

Unser Scheibensuszeptor aus hochreinem Graphit wurde speziell für die Anforderungen von GaN-auf-Si-MOCVD-Prozessen entwickelt. Dank seiner außergewöhnlichen thermischen Stabilität und Hitzebeständigkeit hält es den anspruchsvollen Temperaturbedingungen von typischerweise 800 °C bis 1100 °C stand und gewährleistet so eine optimale Leistung während des Abscheidungsprozesses.

Das hochreine Graphitmaterial, das in unserem Scheibensuszeptor verwendet wird, bietet eine hervorragende chemische Beständigkeit und ist daher mit dem Ammoniak (NH3) und organischen Metallvorläufern kompatibel, die üblicherweise bei GaN-auf-Si-MOCVD verwendet werden. Dadurch entfällt die Notwendigkeit zusätzlicher SiC-Beschichtungen, wodurch die Produktionskosten gesenkt werden, ohne dass die Leistung beeinträchtigt wird.

Der Scheibensuszeptor aus hochreinem Graphit von Vetek Semiconductor bietet eine kostengünstige Lösung ohne Kompromisse bei der Qualität. Seine Zuverlässigkeit, Haltbarkeit und Kompatibilität mit GaN-auf-Si-MOCVD-Prozessen machen es zur bevorzugten Wahl für Halbleiterhersteller. Vertrauen Sie Vetek Semiconductor bei der Lieferung leistungsstarker Graphitscheibensuszeptoren für Ihre GaN-auf-Si-MOCVD-Fertigungsanforderungen.