EPI-Empfänger

Der EPI-Suszeptor von VeTek Semiconductor ist für anspruchsvolle epitaktische Geräteanwendungen konzipiert. Seine mit hochreinem Siliziumkarbid (SiC) beschichtete Graphitstruktur bietet eine hervorragende Wärmebeständigkeit, eine gleichmäßige thermische Gleichmäßigkeit für eine gleichmäßige Dicke und Beständigkeit der Epitaxieschicht sowie eine lang anhaltende chemische Beständigkeit. Wir freuen uns auf die Zusammenarbeit mit Ihnen.

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Produktbeschreibung

VeTek Semiconductor ist ein professioneller Hersteller von EPI-Empfängern, ALD-Planetenempfängern und TaC-beschichteten Graphitempfängern in China.

Der EPI-Suszeptor von VeTek Semiconductor ist eine wichtige Komponente des epitaktischen Wachstums im Halbleiterherstellungsprozess. Seine Hauptfunktion besteht darin, den Wafer zu stützen und zu erwärmen, sodass eine hochwertige Epitaxieschicht gleichmäßig auf der Waferoberfläche wachsen kann.

Die EPI-Suszeptoren von VeTek Semiconductors bestehen normalerweise aus hochreinem Graphit und sind mit einer Schicht aus Siliziumkarbid (SiC) beschichtet. Dieses Design hat die folgenden wesentlichen Vorteile:

Hohe Temperaturstabilität: Der EPI-Suszeptor kann in einer Hochtemperaturumgebung stabil bleiben und sorgt so für ein gleichmäßiges Wachstum der Epitaxieschicht.

Korrosionsbeständigkeit: Die SiC-Beschichtung verfügt über eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit und kann der Erosion chemischer Gase widerstehen, wodurch die Lebensdauer der Wanne verlängert wird.

Wärmeleitfähigkeit: Die hohe Wärmeleitfähigkeit des SiC-Materials sorgt für eine gleichmäßige Temperaturverteilung des Wafers beim Erhitzen und verbessert dadurch die Qualität der Epitaxieschicht.

Anpassung des Wärmeausdehnungskoeffizienten: Der Wärmeausdehnungskoeffizient von SiC ähnelt dem von Graphit, wodurch das Problem des Ablösens der Beschichtung aufgrund von Wärmeausdehnung und -kontraktion vermieden wird.

Grundlegende physikalische Eigenschaften vonEPI-Empfänger: