SiC-beschichteter Graphit-Fass-Suszeptor für EPI

VeTek Semiconductor ist ein chinesischer Hersteller und Lieferant, der hauptsächlich SiC-beschichtete Graphitzylindersuszeptoren für EPI mit langjähriger Erfahrung herstellt. Ich hoffe, eine Geschäftsbeziehung mit Ihnen aufzubauen. EPI (Epitaxie) ist ein entscheidender Prozess bei der Herstellung fortschrittlicher Halbleiter. Dabei werden dünne Materialschichten auf einem Substrat abgeschieden, um komplexe Gerätestrukturen zu erzeugen. SiC-beschichtete Graphitrohrsuszeptoren für EPI werden aufgrund ihrer hervorragenden Wärmeleitfähigkeit und Beständigkeit gegenüber hohen Temperaturen häufig als Suszeptoren in EPI-Reaktoren verwendet. Durch die CVD-SiC-Beschichtung wird es widerstandsfähiger gegen Verschmutzung, Erosion und Thermoschock. Dies führt zu einer längeren Lebensdauer des Suszeptors und einer verbesserten Filmqualität.

Vorteile unseres SiC-beschichteten Graphit-Fass-Suszeptors:

Reduzierte Kontamination: Die inerte Natur von SiC verhindert, dass Verunreinigungen an der Suszeptoroberfläche haften, wodurch das Risiko einer Kontamination der abgeschiedenen Filme verringert wird.

Erhöhte Erosionsbeständigkeit: SiC ist deutlich widerstandsfähiger gegen Erosion als herkömmlicher Graphit, was zu einer längeren Lebensdauer des Suszeptors führt.

Verbesserte thermische Stabilität: SiC verfügt über eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit und hält hohen Temperaturen ohne nennenswerte Verformung stand.

Verbesserte Filmqualität: Die verbesserte thermische Stabilität und die geringere Kontamination führen zu qualitativ hochwertigeren abgeschiedenen Filmen mit verbesserter Gleichmäßigkeit und Dickenkontrolle.

Anwendungen:

SiC-beschichtete Graphit-Zylindersuszeptoren werden häufig in verschiedenen EPI-Anwendungen eingesetzt, darunter:

GaN-basierte LEDs

Leistungselektronik

Optoelektronische Geräte

Hochfrequenztransistoren

Sensoren

Produktparameter des SiC-beschichteten Graphit-Fass-Suszeptors

Hinweis: Vor dem Beschichten führen wir eine erste Reinigung durch, nach dem Beschichten führen wir eine zweite Reinigung durch.

VeTek Halbleiterproduktionswerkstatt