Halbleiter-Quarzboot

Im Halbleiterprozess kommt dem Transport der Wafer eine besondere Bedeutung zu. Halbleiter-Quarzboote eignen sich sehr gut zum Transport von Wafern und eignen sich für Prozesse wie Diffusion, Oxidation und CVD. VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller und Lieferant von Halbleiter-Quarzbooten in China und ist in der Lage, seinen Kunden hochgradig maßgeschneiderte Produkte anzubieten. Wir freuen uns über Ihre weitere Beratung.

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Produktbeschreibung

Halbleiterquarzboote sind hochreine Quarzprodukte, die im Halbleiterherstellungsprozess verwendet werden. Seine Hauptfunktion besteht darin, Wafer in Hochtemperaturöfen zu transportieren und zu transportieren. Es wird häufig in Präzisionsindustrien wie Halbleitern, Optoelektronik und LEDs eingesetzt. Geeignet für Diffusion, Oxidation, CVD und andere Prozesse.

Semiconductor quartz boat working diagram

Produktmerkmale:

• Hohe Reinheit: Das Halbleiter-Quarzboot verwendet hochreines Quarzmaterial mit extrem niedrigem Verunreinigungsgehalt, vermeidet effektiv die Verschmutzung durch Metallionen und ist für die sauberen Umgebungsanforderungen von Halbleiterprozessen geeignet.

• Hohe Temperaturbeständigkeit: Es verfügt über eine ausgezeichnete Hochtemperaturbeständigkeit und kann in einer Umgebung von bis zu 1200 °C über einen langen Zeitraum stabil verwendet werden.

• Korrosionsbeständigkeit: Es verfügt über eine gute Korrosionsbeständigkeit gegenüber den meisten chemischen Reagenzien wie Säuren und Laugen und kann sich daher an die chemische Umgebung in Halbleitergeräten wie CVD-Öfen anpassen.

•Gute thermische Stabilität: Niedriger Wärmeausdehnungskoeffizient, verformt sich beim Erhitzen nicht leicht, geeignet für häufige Heiz- und Kühlvorgänge.

Parameter	Spezifikationen
Material	Hochreiner Quarz
Außendurchmesser	Individuell nach Bedarf
Länge	Individuell nach Bedarf
Thermische Stabilität	Stabiler Betrieb bei 1200 °C

Spezifikationen

• Verbesserung der Produktionseffizienz: kompaktes Design, einfacher Wafertransfer und verbesserte Prozesskapazität.

• Reduzieren Sie das Kontaminationsrisiko: hochreines Quarzmaterial, das die Kontamination durch Spurenverunreinigungen im Prozess reduziert.

• Lange Lebensdauer und Haltbarkeit: Hohe Temperatur- und Korrosionsbeständigkeit, geeignet für den Hochfrequenzeinsatz, wodurch die Austauschkosten gesenkt werden.

Vetek Semiconductor ist bestrebt, seinen Kunden hochwertige, hochreine Quarzbootprodukte anzubieten. Alle Produkte unterliegen einer strengen Qualitätskontrolle, um sicherzustellen, dass sie den hohen Standards der Halbleiterindustrie entsprechen.