CVD-SiC-Duschkopf
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CVD-SiC-Duschkopf

VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller und Innovator von CVD-SiC-Duschköpfen in China. Wir sind seit vielen Jahren auf SiC-Material spezialisiert. CVD-SiC-Duschköpfe werden aufgrund ihrer hervorragenden thermochemischen Stabilität, hohen mechanischen Festigkeit und Beständigkeit als Material für den Fokussierring ausgewählt Plasmaerosion. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Sie können sicher sein, CVD-SiC-Duschköpfe in unserer Fabrik zu kaufen. Der CVD-SiC-Duschkopf von VeTek Semiconductor wird aus massivem Siliziumkarbid (SiC) unter Verwendung fortschrittlicher chemischer Gasphasenabscheidungstechniken (CVD) hergestellt. SiC wird aufgrund seiner außergewöhnlichen Wärmeleitfähigkeit, chemischen Beständigkeit und mechanischen Festigkeit ausgewählt und eignet sich ideal für großvolumige SiC-Komponenten wie den CVD-SiC-Duschkopf.


Produktleistung und Vorteile:

Der CVD-SiC-Duschkopf wurde für die Halbleiterfertigung entwickelt und hält hohen Temperaturen und Plasmaverarbeitung stand. Die präzise Steuerung des Gasflusses und die hervorragenden Materialeigenschaften sorgen für stabile Prozesse und langfristige Zuverlässigkeit. Die Verwendung von CVD-SiC verbessert das Wärmemanagement und die chemische Stabilität und verbessert so die Qualität und Leistung von Halbleiterprodukten.


Auf Kundenbedürfnisse eingehen:

Der CVD-SiC-Duschkopf verbessert die Effizienz des epitaktischen Wachstums, indem er die Prozessgase gleichmäßig verteilt und die Kammer vor Verunreinigungen schützt. Es löst effektiv Herausforderungen bei der Halbleiterfertigung wie Temperaturkontrolle, chemische Stabilität und Prozesskonsistenz und bietet Kunden zuverlässige Lösungen.


Anwendungsszenarien:

Der CVD-SiC-Duschkopf wird in MOCVD-Systemen, Si-Epitaxie und SiC-Epitaxie eingesetzt und unterstützt die Produktion hochwertiger Halbleiterbauelemente. Seine entscheidende Rolle gewährleistet die präzise Prozesskontrolle und -stabilität und erfüllt die unterschiedlichen Kundenanforderungen an leistungsstarke und zuverlässige Produkte.


Produktparameter des CVD-SiC-Duschkopfs:

Physikalische Eigenschaften von festem SiC
Dichte 3.21 g/cm3
Stromwiderstand 102 Ω/cm
Biegefestigkeit 590 MPa (6000 kgf/cm2)
Elastizitätsmodul 450 GPa (6000 kgf/mm2)
Vickers-Härte 26 GPa (2650 kgf/mm2)
C.T.E. (RT-1000℃) 4.0 x10-6/K
Wärmeleitfähigkeit (RT) 250 W/mK


Produktionswerkstatt


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