Halbleiter-Suszeptorblock mit SiC-Beschichtung

Der SiC-beschichtete Halbleiter-Suszeptorblock von VeTek Semiconductor ist ein äußerst zuverlässiges und langlebiges Gerät. Es ist so konzipiert, dass es hohen Temperaturen und rauen chemischen Umgebungen standhält und gleichzeitig eine stabile Leistung und eine lange Lebensdauer gewährleistet. Dank seiner hervorragenden Prozessfähigkeiten reduziert der SiC-beschichtete Halbleiter-Suszeptorblock die Häufigkeit von Austausch und Wartung und verbessert so die Produktionseffizienz. Wir freuen uns auf die Gelegenheit, mit Ihnen zusammenzuarbeiten.

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Produktbeschreibung

Hochwertige SiC-beschichtete Halbleiter-Suszeptorblöcke werden vom chinesischen Hersteller VeTek Semiconductor angeboten. Kaufen Sie einen Halbleiter-Suszeptorblock mit SiC-Beschichtung, der von hoher Qualität ist, direkt ab Werk.

Der SiC-beschichtete Halbleiter-Suszeptorblock von VeTek Semiconductor ist speziell für den Einsatz in VEECO-GaN-Systemen konzipiert und nutzt die MOCVD-Technologie (Metal-Organic Chemical Vapour Deposition). Dieser Suszeptorblock ist eine wichtige Komponente und besteht aus hochreinem, hochdichtem und hochfestem Graphitmaterial. Es ist mit unserer proprietären CVD-SiC-Beschichtung beschichtet, die eine hervorragende Haftung gewährleistet, die Produktlebensdauer verlängert und eine gleichmäßige Erwärmung während des Herstellungsprozesses garantiert.

Die dichte Beschichtung des mit SiC beschichteten Halbleiter-Suszeptorblocks erhöht seine Haltbarkeit und Zuverlässigkeit und sorgt gleichzeitig für eine gleichmäßige und gleichmäßige Wärmeverteilung. Dies trägt direkt zu einer hohen Produktausbeute bei der Verarbeitung bei. Durch die Kombination von hochwertigem Graphitmaterial mit unserer fortschrittlichen CVD-SiC-Beschichtung haben wir ein Produkt mit überlegener Leistung und längerer Lebensdauer geschaffen.

Der mit SiC beschichtete Halbleiter-Suszeptorblock spielt eine entscheidende Rolle bei der Aufrechterhaltung einer optimalen Temperaturgleichmäßigkeit und der Verbesserung der Gesamteffizienz des Herstellungsprozesses. Seine außergewöhnlichen Beschichtungseigenschaften und die robuste Konstruktion sorgen für zuverlässige Leistung und Langlebigkeit. Mit diesem Produkt können Sie hohe Verarbeitungsausbeuten und eine hervorragende Produktqualität erzielen.

Wir sind bestrebt, Ihnen eine leistungsstarke Lösung zu bieten, die Ihren spezifischen Anforderungen an VEECO-GaN-Systeme entspricht. Unser Halbleiter-Suszeptor setzt den Industriestandard für Haltbarkeit, Gleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit und stellt sicher, dass Ihre Fertigungsprozesse effizient und produktiv sind.

Produktparameter des Halbleiter-Suszeptorblocks mit SiC-Beschichtung

Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD-SiC-Beschichtung
Eigentum	Typischer Wert
Kristallstruktur	Polykristalline FCC-β-Phase, hauptsächlich (111)-orientiert
Dichte	3,21 g/cm³
Härte	2500 Vickers-Härte (500 g Belastung)
Körnung	2~10μm
Chemische Reinheit	99,99995 %
Wärmekapazität	640 J·kg-1·K-1
Sublimationstemperatur	2700℃
Biegefestigkeit	415 MPa RT 4-Punkt
Elastizitätsmodul	430 Gpa 4pt Biegung, 1300℃
Wärmeleitfähigkeit	300W·m-1·K-1
Wärmeausdehnung (CTE)	4,5×10-6K-1

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Überblick über die Industriekette der Halbleiterchip-Epitaxie:

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