Epi-Empfänger mit SiC-Beschichtung

Vetek Semiconductor ist ein professioneller Hersteller in China für Epi-Suszeptoren mit SiC-Beschichtung.

Der SiC-beschichtete Epi-Suszeptor von VeTek Semiconductor besteht aus Graphit und Siliziumkarbid. Dieses SiC-Beschichtungsprodukt verwendet importierten Graphit, der eine stabilere Leistung und eine lange Lebensdauer aufweist und von unseren europäischen und amerikanischen Kunden hoch gelobt wird. Gleichzeitig liegt die Konzentration des Epi-Suszeptors der SiC-Beschichtung unter 5 ppm und die Gleichmäßigkeit ist sehr gut. Nach kontinuierlichen technologischen Verbesserungen verwendet VeTek Semiconductor ein neues Verfahren, um eine gute Übereinstimmung zwischen dem Wärmeausdehnungskoeffizienten der SiC-Beschichtung und Graphitmaterialien herzustellen.

SiC Coating Epi Susceptor wird speziell in Hochtemperatur- und korrosiven Umgebungen in Halbleitergeräten eingesetzt. SiC-Beschichtungs-Epi-Suszeptoren werden häufig in Geräten wie AIXTRON verwendet, insbesondere im Tief-Ultraviolett-Epitaxie-Verfahren (DUV-Epitaxie), und spielen eine Schlüsselrolle.

Beim Epitaxieprozess im tiefen Ultraviolett (DUV Epitaxy) wird SiC Coating Epi Susceptor in Kombination mit der hervorragenden Hochtemperaturbeständigkeit und Korrosionsbeständigkeit des SiC Coating Epi Susceptor normalerweise um die Reaktionskammer in der AIXTRON-Anlage herum als Träger während des Epitaxieprozesses installiert die Ausrüstung beschädigen oder verunreinigen.

Dieser Epi-Suszeptor mit SiC-Beschichtung ist für die Epitaxie im tiefen Ultraviolett konzipiert. Wir kontrollieren die Siliziumkarbidbeschichtung streng und integrieren eine Pufferschichttechnologie, um Probleme zu reduzieren, die durch Unterschiede in den Wärmeausdehnungskoeffizienten zwischen Graphit- und Siliziumkarbidbeschichtungen verursacht werden, und so die Lebensdauer des Produkts zu verlängern. Derzeit hat unser Produkt zahlreiche Auszeichnungen erhalten und gilt als eines der besten auf dem heimischen Markt.

Als Branchenführer bei SiC-Beschichtungsprodukten unterstützt VeTek Semiconductor Produktanpassungsdienste und zufriedenstellende Produktpreise und freut sich auf Ihre weitere Beratung.

REM-DATEN DES CVD-SIC-FILM:

Shops für VeTek Semiconductor SiC Coating Rock-Produkte:

Überblick über die Industriekette der Halbleiterchip-Epitaxie: