VeTek Semiconductor, ein führender Hersteller von CVD-SiC-Beschichtungen, bietet SiC-Beschichtungssatzscheiben in Aixtron MOCVD-Reaktoren an. Diese SiC-Beschichtungssatzscheiben werden aus hochreinem Graphit hergestellt und verfügen über eine CVD-SiC-Beschichtung mit Verunreinigungen unter 5 ppm. Wir freuen uns über Anfragen zu diesem Produkt.
VeTek Semiconductor ist ein chinesischer Hersteller und Lieferant von SiC-Beschichtungen, der hauptsächlich SiC-Beschichtungssätze für Scheiben, Kollektor und Suszeptor mit langjähriger Erfahrung herstellt. Ich hoffe, eine Geschäftsbeziehung mit Ihnen aufzubauen.
Die Aixtron SiC Coating Set Disc ist ein Hochleistungsprodukt, das für ein breites Anwendungsspektrum entwickelt wurde. Das Kit besteht aus hochwertigem Graphitmaterial mit einer schützenden Siliziumkarbid (SiC)-Beschichtung.
Die Siliziumkarbid (SiC)-Beschichtung auf der Oberfläche der Scheibe hat mehrere wichtige Vorteile. Erstens verbessert es die Wärmeleitfähigkeit des Graphitmaterials erheblich und sorgt so für eine effiziente Wärmeleitung und eine präzise Temperaturkontrolle. Dadurch wird eine gleichmäßige Erwärmung bzw. Kühlung des gesamten Scheibensatzes während des Gebrauchs gewährleistet, was zu einer gleichbleibenden Leistung führt.
Zweitens verfügt die Siliziumkarbid-Beschichtung (SiC) über eine ausgezeichnete chemische Inertheit, wodurch der Scheibensatz äußerst korrosionsbeständig ist. Diese Korrosionsbeständigkeit gewährleistet die Langlebigkeit und Zuverlässigkeit der Scheibe auch in rauen und korrosiven Umgebungen und macht sie für eine Vielzahl von Anwendungsszenarien geeignet.
Darüber hinaus verbessert die Siliziumkarbid (SiC)-Beschichtung die allgemeine Haltbarkeit und Verschleißfestigkeit des Scheibensatzes. Diese Schutzschicht sorgt dafür, dass die Disc wiederholtem Gebrauch standhält und verringert so das Risiko einer Beschädigung oder Verschlechterung, die im Laufe der Zeit auftreten kann. Die verbesserte Haltbarkeit gewährleistet die langfristige Leistung und Zuverlässigkeit des Scheibensatzes.
Aixtron SiC-Beschichtungssatzscheiben werden häufig in Halbleiterfertigungs-, chemischen Verarbeitungs- und Forschungslabors eingesetzt. Seine hervorragende Wärmeleitfähigkeit, chemische Beständigkeit und Haltbarkeit machen es ideal für kritische Anwendungen, die eine präzise Temperaturkontrolle und korrosionsbeständige Umgebungen erfordern.
Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD-SiC-Beschichtung | |
Eigentum | Typischer Wert |
Kristallstruktur | Polykristalline FCC-β-Phase, hauptsächlich (111)-orientiert |
Dichte | 3,21 g/cm³ |
Härte | 2500 Vickers-Härte (500 g Belastung) |
Körnung | 2~10μm |
Chemische Reinheit | 99,99995 % |
Wärmekapazität | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimationstemperatur | 2700℃ |
Biegefestigkeit | 415 MPa RT 4-Punkt |
Elastizitätsmodul | 430 Gpa 4pt Biegung, 1300℃ |
Wärmeleitfähigkeit | 300W·m-1·K-1 |
Wärmeausdehnung (CTE) | 4,5×10-6K-1 |