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China Siliziumkarbidkeramik Hersteller, Lieferant, Fabrik

VeTek Semiconductor ist Ihr innovativer Partner im Bereich der Halbleiterverarbeitung. Mit unserem umfangreichen Portfolio an Materialkombinationen aus Siliziumkarbidkeramik in Halbleiterqualität, Komponentenfertigungskapazitäten und anwendungstechnischen Dienstleistungen können wir Ihnen bei der Bewältigung bedeutender Herausforderungen helfen. Technische Siliziumkarbidkeramiken werden aufgrund ihrer außergewöhnlichen Materialleistung häufig in der Halbleiterindustrie eingesetzt. Die hochreine Siliziumkarbidkeramik von VeTek Semiconductor wird häufig im gesamten Zyklus der Halbleiterherstellung und -verarbeitung eingesetzt.

DIFFUSION & LPCVD-VERARBEITUNG

VeTek Semiconductor bietet technische Keramikkomponenten, die speziell für Batch-Diffusions- und LPCVD-Anforderungen entwickelt wurden, darunter:

• Leitbleche und Halter
• Einspritzdüsen
• Liner und Prozessrohre
• Cantilever-Paddel aus Siliziumkarbid
• Waffelschiffchen und Sockel

SiC-Cantilever-Paddel SiC-Prozessrohre Siliziumkarbid-Prozessrohr SiC-Vertikal-Wafer-Boot Horizontales Waferboot aus SiC SiC-Horizontalwafer-Boot SiC-LPCVD-Waferboot SiC-Horizontalplattenboot Rundes Waferboot aus SiC

ÄTZPROZESSKOMPONENTEN

Minimieren Sie Verunreinigungen und außerplanmäßige Wartungsarbeiten mit hochreinen Komponenten, die für die Anforderungen der Plasmaätzverarbeitung entwickelt wurden, darunter:

Fokusringe

Düsen

Schilde

Duschköpfe

Fenster / Deckel

Andere benutzerdefinierte Komponenten

SCHNELLE THERMISCHE VERARBEITUNG UND EPITAXIALE PROZESSKOMPONENTEN

VeTek Semiconductor bietet fortschrittliche Materialkomponenten, die auf Hochtemperatur-Wärmeverarbeitungsanwendungen in der Halbleiterindustrie zugeschnitten sind. Diese Anwendungen umfassen RTP, Epi-Prozesse, Diffusion, Oxidation und Glühen. Unsere technische Keramik ist so konzipiert, dass sie thermischen Schocks standhält und eine zuverlässige und konstante Leistung liefert. Mit den Komponenten von VeTek Semiconductor können Halbleiterhersteller eine effiziente und qualitativ hochwertige thermische Verarbeitung erreichen und so zum Gesamterfolg der Halbleiterproduktion beitragen.

• Diffusoren

• Isolatoren

• Suszeptoren

• Andere kundenspezifische thermische Komponenten

Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid
Eigentum	Typischer Wert
Arbeitstemperatur (°C)	1600°C (mit Sauerstoff), 1700°C (reduzierende Umgebung)
SiC / SiC-Gehalt	> 99,96 %
Si / Freier Si-Gehalt	< 0,1 %
Schüttdichte	2,60–2,70 g/cm3
Scheinbare Porosität	< 16 %
Druckfestigkeit	> 600 MPa
Kaltbiegefestigkeit	80-90 MPa (20°C)
Warmbiegefestigkeit	90–100 MPa (1400 °C)
Wärmeausdehnung bei 1500 °C	4,70 · 10-6/°C
Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C	23 W/m·K
Elastizitätsmodul	240 GPa
Wärmeschockbeständigkeit	Extrem gut

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Cantilever-Paddel aus hochreinem SiC

VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller und Innovator von Cantilever-Paddeln aus hochreinem SiC in China. Cantilever-Paddel aus hochreinem SiC werden häufig in Halbleiter-Diffusionsöfen als Wafer-Transfer- oder Ladeplattformen verwendet. VeTek Semiconductor ist bestrebt, fortschrittliche Technologie- und Produktlösungen für die Halbleiterindustrie bereitzustellen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Waferboot mit vertikaler Säule und Sockel

Als professioneller Hersteller und Lieferant von Wafer-Booten und Sockeln mit vertikalen Säulen in China besteht das Wafer-Boot und Sockel mit vertikalen Säulen von Vetek Semiconductor aus hochreinem Quarz oder Silizium-Kohlenstoff-Keramik (SiC)-Materialien mit ausgezeichneter Hochtemperaturbeständigkeit, chemischer Stabilität und mechanischer Festigkeit und ist eine unverzichtbare Kernkomponente im Halbleiterfertigungsprozess. Willkommen zu Ihrer weiteren Beratung.

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Angrenzendes Wafer-Boot

Vetek Semiconductor Contiguous Wafer Boat ist eine fortschrittliche Ausrüstung für die Halbleiterverarbeitung. Die Produktstruktur von Contiguous Wafer Boat ist sorgfältig konzipiert, um eine effiziente Verarbeitung und Produktion von Präzisionswafern zu gewährleisten. Vetek Semiconductor ist bestrebt, hervorragende Technologie- und Produktlösungen für die Halbleiterindustrie bereitzustellen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Silizium auf Isolatorwafer

VeTek Semiconductor ist ein professioneller chinesischer Hersteller von Silizium-auf-Isolator-Wafern, ALD-Planetenbasis und TaC-beschichteter Graphitbasis. Der Silizium-auf-Isolator-Wafer von VeTek Semiconductor ist ein wichtiges Halbleitersubstratmaterial und spielt aufgrund seiner hervorragenden Produkteigenschaften eine Schlüsselrolle in Hochleistungs-, Niedrigstrom-, Hochintegrations- und HF-Anwendungen. Wir freuen uns auf die weitere Zusammenarbeit mit Ihnen.

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Horizontaler SiC-Waferträger

VeTek Semiconductor ist ein professioneller Hersteller und Lieferant von TaC-beschichteten Führungsringen, horizontalen SiC-Waferträgern und SiC-beschichteten Suszeptoren in China. Wir sind bestrebt, perfekten technischen Support und ultimative Produktlösungen für die Halbleiterindustrie zu bieten. Nehmen Sie gerne Kontakt mit uns auf.

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SiC-Wafer-Boot

Das SiC-Wafer-Boot von VeTek Semiconductor ist ein sehr leistungsstarkes Produkt. Unser SiC-Wafer-Boot wird normalerweise in Halbleiter-Oxidations-Diffusionsöfen verwendet, um sicherzustellen, dass die Temperatur gleichmäßig auf dem Wafer verteilt wird und die Qualität der Siliziumwafer-Verarbeitung verbessert wird. Die hohe Temperaturstabilität und hohe Wärmeleitfähigkeit von SiC-Materialien gewährleisten eine effiziente und zuverlässige Halbleiterverarbeitung. Wir sind bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten und freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu sein.

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Als professioneller Siliziumkarbidkeramik Hersteller und Lieferant in China verfügen wir über eine eigene Fabrik. Egal, ob Sie maßgeschneiderte Dienstleistungen benötigen, um den spezifischen Anforderungen Ihrer Region gerecht zu werden, oder fortschrittliche und langlebige Produkte aus China kaufen möchten, Sie können uns eine Nachricht hinterlassen.