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China Siliziumkarbidkeramik Hersteller, Lieferant, Fabrik
VeTek Semiconductor ist Ihr innovativer Partner im Bereich der Halbleiterverarbeitung. Mit unserem umfangreichen Portfolio an Materialkombinationen aus Siliziumkarbidkeramik in Halbleiterqualität, Komponentenfertigungskapazitäten und anwendungstechnischen Dienstleistungen können wir Ihnen bei der Bewältigung bedeutender Herausforderungen helfen. Technische Siliziumkarbidkeramiken werden aufgrund ihrer außergewöhnlichen Materialleistung häufig in der Halbleiterindustrie eingesetzt. Die hochreine Siliziumkarbidkeramik von VeTek Semiconductor wird häufig im gesamten Zyklus der Halbleiterherstellung und -verarbeitung eingesetzt.
DIFFUSION & LPCVD-VERARBEITUNG
VeTek Semiconductor bietet technische Keramikkomponenten, die speziell für Batch-Diffusions- und LPCVD-Anforderungen entwickelt wurden, darunter:
• Leitbleche und Halter
• Einspritzdüsen
• Liner und Prozessrohre
• Cantilever-Paddel aus Siliziumkarbid
• Waffelschiffchen und Sockel
SiC-Cantilever-Paddel 
SiC-Prozessrohre 
Siliziumkarbid-Prozessrohr 
SiC-Vertikal-Wafer-Boot 
Horizontales Waferboot aus SiC 
SiC-Horizontalwafer-Boot 
SiC-LPCVD-Waferboot 
SiC-Horizontalplattenboot 
Rundes Waferboot aus SiC
ÄTZPROZESSKOMPONENTEN
Minimieren Sie Verunreinigungen und außerplanmäßige Wartungsarbeiten mit hochreinen Komponenten, die für die Anforderungen der Plasmaätzverarbeitung entwickelt wurden, darunter:
Fokusringe
Düsen
Schilde
Duschköpfe
Fenster / Deckel
Andere benutzerdefinierte Komponenten
SCHNELLE THERMISCHE VERARBEITUNG UND EPITAXIALE PROZESSKOMPONENTEN
VeTek Semiconductor bietet fortschrittliche Materialkomponenten, die auf Hochtemperatur-Wärmeverarbeitungsanwendungen in der Halbleiterindustrie zugeschnitten sind. Diese Anwendungen umfassen RTP, Epi-Prozesse, Diffusion, Oxidation und Glühen. Unsere technische Keramik ist so konzipiert, dass sie thermischen Schocks standhält und eine zuverlässige und konstante Leistung liefert. Mit den Komponenten von VeTek Semiconductor können Halbleiterhersteller eine effiziente und qualitativ hochwertige thermische Verarbeitung erreichen und so zum Gesamterfolg der Halbleiterproduktion beitragen.
• Diffusoren
• Isolatoren
• Suszeptoren
• Andere kundenspezifische thermische Komponenten
| Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid | |
| Eigentum | Typischer Wert |
| Arbeitstemperatur (°C) | 1600°C (mit Sauerstoff), 1700°C (reduzierende Umgebung) |
| SiC / SiC-Gehalt | > 99,96 % |
| Si / Freier Si-Gehalt | < 0,1 % |
| Schüttdichte | 2,60–2,70 g/cm3 |
| Scheinbare Porosität | < 16 % |
| Druckfestigkeit | > 600 MPa |
| Kaltbiegefestigkeit | 80-90 MPa (20°C) |
| Warmbiegefestigkeit | 90–100 MPa (1400 °C) |
| Wärmeausdehnung bei 1500 °C | 4,70 · 10-6/°C |
| Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C | 23 W/m·K |
| Elastizitätsmodul | 240 GPa |
| Wärmeschockbeständigkeit | Extrem gut |
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SiC-Prozessrohr
VeTek Semiconductor bietet leistungsstarke SiC-Prozessrohre für die Halbleiterfertigung. Unsere SiC-Prozessrohre zeichnen sich durch Oxidations- und Diffusionsprozesse aus. Mit höchster Qualität und Handwerkskunst bieten diese Rohre Hochtemperaturstabilität und Wärmeleitfähigkeit für eine effiziente Halbleiterverarbeitung. Wir bieten wettbewerbsfähige Preise und möchten Ihr langfristiger Partner in China sein.
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SiC-Cantilever-Paddel
Das SiC Cantilever Paddle von VeTek Semiconductor ist ein sehr leistungsstarkes Produkt. Unser SiC-Cantilever-Paddel wird normalerweise in Wärmebehandlungsöfen zur Handhabung und Unterstützung von Siliziumwafern, zur chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) und anderen Verarbeitungsprozessen in Halbleiterherstellungsprozessen verwendet. Die hohe Temperaturstabilität und die hohe Wärmeleitfähigkeit des SiC-Materials gewährleisten eine hohe Effizienz und Zuverlässigkeit im Halbleiterverarbeitungsprozess. Wir sind bestrebt, qualitativ hochwertige Produkte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten und freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
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Siliziumkarbid-Waferschiffchen für Horizontalöfen
VeTek Semiconductor ist ein professioneller Hersteller und Lieferant in China für Siliziumkarbid-Waferboote für Horizontalöfen. Mit jahrelanger Erfahrung in Forschung und Entwicklung sowie Produktion kann die Qualität gut kontrolliert werden und ein wettbewerbsfähiger Preis angeboten werden. Sie können sicher sein, dass Sie bei uns das Siliziumkarbid-Waferboot für den Horizontalofen kaufen.
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SiC-beschichtetes Siliziumkarbid-Waferboot
VeTek Semiconductor ist ein professioneller Hersteller und Lieferant in China für SiC-beschichtete Siliziumkarbid-Waferboote. Mit jahrelanger Erfahrung in Forschung und Entwicklung sowie Produktion kann die Qualität gut kontrolliert und ein wettbewerbsfähiger Preis angeboten werden. Willkommen zum Besuch unserer Fabrik und für weitere Gespräche über die Zusammenarbeit.
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Cantilever-Paddel aus Siliziumkarbid
Das Siliziumkarbid-Cantilever-Paddel von VeTek Semiconductor ist eine wichtige Komponente im Halbleiterherstellungsprozess und eignet sich besonders für Diffusionsöfen oder LPCVD-Öfen in Hochtemperaturprozessen wie Diffusion und RTP. Unser Cantilever-Paddel aus Siliziumkarbid wurde sorgfältig entwickelt und hergestellt und verfügt über eine hervorragende Hochtemperaturbeständigkeit und mechanische Festigkeit. Es kann Wafer unter rauen Prozessbedingungen für verschiedene Hochtemperaturprozesse wie Diffusion und RTP sicher und zuverlässig zum Prozessrohr transportieren. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
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Waferträger aus hochreinem Siliziumkarbid
Waferträger aus hochreinem Siliziumkarbid von VeTek Semiconductor sind wichtige Komponenten in der Halbleiterverarbeitung, die für die sichere Halterung und den Transport empfindlicher Siliziumwafer konzipiert sind und in allen Phasen der Herstellung eine Schlüsselrolle spielen. Die hochreinen Siliziumkarbid-Waferträger von VeTek Semiconductor wurden sorgfältig entwickelt und hergestellt, um hervorragende Leistung und Zuverlässigkeit zu gewährleisten. VeTek Semiconductor ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten, und wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu sein.
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Als professioneller Siliziumkarbidkeramik Hersteller und Lieferant in China verfügen wir über eine eigene Fabrik. Egal, ob Sie maßgeschneiderte Dienstleistungen benötigen, um den spezifischen Anforderungen Ihrer Region gerecht zu werden, oder fortschrittliche und langlebige Produkte aus China kaufen möchten, Sie können uns eine Nachricht hinterlassen.
