Das SiC-Wafer-Boot von VeTek Semiconductor ist ein sehr leistungsstarkes Produkt. Unser SiC-Wafer-Boot wird normalerweise in Halbleiter-Oxidations-Diffusionsöfen verwendet, um sicherzustellen, dass die Temperatur gleichmäßig auf dem Wafer verteilt wird und die Qualität der Siliziumwafer-Verarbeitung verbessert wird. Die hohe Temperaturstabilität und hohe Wärmeleitfähigkeit von SiC-Materialien gewährleisten eine effiziente und zuverlässige Halbleiterverarbeitung. Wir sind bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten und freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu sein.
Im Folgenden wird das hochwertige SiC-Wafer-Boot von VeTek Semiconductor vorgestellt, in der Hoffnung, Ihnen dabei zu helfen, SiC-Wafer-Boot besser zu verstehen. Begrüßen Sie neue und alte Kunden, um weiterhin mit uns zusammenzuarbeiten und eine bessere Zukunft zu schaffen!
Horizontale quadratische Waferschiffchen aus SiC dienen als kritische Komponenten in Hochtemperaturdiffusionsprozessen und fungieren als Waferträger. Diese Boote spielen eine entscheidende Rolle bei der sicheren und effizienten Handhabung empfindlicher Wafer während der Verarbeitung.
Hochtemperaturfestigkeit: Das Boot muss bei hohen Temperaturen eine außergewöhnliche Festigkeit aufweisen, um den rauen Umgebungen der Hochtemperaturverarbeitung standzuhalten.
Chemische Stabilität bei hohen Temperaturen: Die Aufrechterhaltung der strukturellen Integrität und der chemischen Zusammensetzung unter extremen Hochtemperaturbedingungen gewährleistet die Prozessreinheit.
Partikelfreie Leistung: Das Boot muss frei von Partikelbildung oder Verunreinigungen sein, um die Qualität der verarbeiteten Wafer zu gewährleisten.
Vielseitige Spezifikationen: Vetek Semiconductor bietet eine Reihe von Standardspezifikationen und bietet maßgeschneiderte Dienstleistungen für spezifische Anforderungen.
Qualität und Geschwindigkeit: Vetek Semiconductor gewährleistet qualitativ hochwertige Produkte und schnelle Lieferung und wird den Anforderungen schnelllebiger Branchen gerecht.
Materialkompetenz: Die Verwendung von dichtem rekristallisiertem Siliziumkarbidmaterial garantiert eine überragende Leistung und Langlebigkeit der Boote.
Hohe Temperaturschwelle: Vetek Semiconductor-Boote verfügen über eine maximale Betriebstemperatur von 1600 °C und sind für die anspruchsvollsten Hochtemperaturprozesse geeignet.
Kosteneffizienz: Vetek Semiconductor-Boote bieten ein äußerst wettbewerbsfähiges Preis-Leistungs-Verhältnis und ein gutes Preis-Leistungs-Verhältnis.
Haltbarkeit: Mit einer langen Lebensdauer bieten Vetek Semiconductor-Boote Zuverlässigkeit und Konsistenz bei Wafer-Handhabungsprozessen.
Vetek Semiconductor zeichnet sich auf dem Markt durch sein Engagement für Qualität, Anpassungsmöglichkeiten, Materialinnovation, Hochtemperaturfähigkeit, Kosteneffizienz und Langlebigkeit aus und ist damit die erste Wahl für Halbleiterhersteller weltweit.
Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid | |
Eigentum | Typischer Wert |
Arbeitstemperatur (°C) | 1600°C (mit Sauerstoff), 1700°C (reduzierende Umgebung) |
SiC-Gehalt | > 99,96 % |
Kostenlose Si-Inhalte | < 0,1 % |
Schüttdichte | 2,60–2,70 g/cm3 |
Scheinbare Porosität | < 16 % |
Druckfestigkeit | > 600 MPa |
Kaltbiegefestigkeit | 80-90 MPa (20°C) |
Warmbiegefestigkeit | 90–100 MPa (1400 °C) |
Wärmeausdehnung bei 1500 °C | 4,70 · 10-6/°C |
Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C | 23 W/m·K |
Elastizitätsmodul | 240 GPa |
Wärmeschockbeständigkeit | Extrem gut |