TaC-beschichteter dreiblättriger Ring

VeTek Semiconductor ist ein professioneller Hersteller und Lieferant von TaC-beschichteten dreiblättrigen Ringen in China. Der TaC-beschichtete dreiblättrige Ring wird im Aixtron G10-Abscheidungssystem für Verbindungshalbleiter, G10-GaN 150/200 mm Hochdurchsatzepitaxie für GaN-Leistung und HF verwendet Anwendungen.

Die TaC-Beschichtung von VeTek Semiconductor ist eine neue Generation hochtemperaturbeständiger Materialien mit besserer Hochtemperaturstabilität als SiC, da sie als korrosionsbeständige Beschichtung, oxidationsbeständige Beschichtung und verschleißfeste Beschichtung in Umgebungen über 2000 °C eingesetzt werden kann und weit verbreitet ist Ultrahochtemperatur-Hot-End-Teile für die Luft- und Raumfahrt, die dritte Generation des Halbleiter-Einkristallwachstums und andere Bereiche.

Produktmerkmale:

1. Hohe Reinheit, Verunreinigungsgehalt < 5 ppm

2. Hohe Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, hohe Dichte, hohe Dichte

3. Es ist bei hohen Temperaturen chemisch inert gegenüber Ammoniak, Wasserstoff, Silan und Silizium und weist eine gute thermische Stabilität auf.

4. Thermoschockbeständigkeit kann den Betriebszyklus beschleunigen

5. Die starke Graphithaftung sorgt für eine lange Lebensdauer und verhindert eine Delaminierung der Beschichtung.

6. Strenge Maßtoleranzen.

Hauptanwendungen:

1. Epitaktisches Wachstum

2. Einkristallwachstum

3. Korrosionsableitung bei hohen Temperaturen

4. Hochtemperatur- und oxidationsbeständige Düse

5. Gasturbinenschaufeln

Produktparameter des TaC-beschichteten dreiblättrigen Rings

VeTek Halbleiterproduktionswerkstatt