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Mit Tantalkarbid beschichtetes Halbmondteil für LPE
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Mit Tantalkarbid beschichtetes Halbmondteil für LPE

VeTek Semiconductor ist ein großformatiges, mit Tantalkarbid beschichtetes Halbmondteil für LPE-Hersteller und Innovator in China. Wir sind seit vielen Jahren auf TaC-Beschichtung spezialisiert. Unsere Produkte können Temperaturen über 2000 Grad Celsius standhalten und die Lebensdauer von Verbrauchsmaterialien verlängern. Wir freuen uns um Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Als professioneller Hersteller möchte VeTek Semiconductor Ihnen hochwertige, mit Tantalkarbid beschichtete Halbmondteile für LPE liefern.

VeTek Semiconductor ist ein professioneller, führender chinesischer Hersteller von SiC, TaC-Beschichtung und festem SiC mit hoher Qualität und angemessenem Preis. Unsere mit Tantalkarbid beschichteten Halbmondteile für LPE werden in der Reaktionskammer von horizontalen und vertikalen Epitaxiegeräten verwendet, um Substrat, Temperaturkontrolle und Wärme zu transportieren Konservierung, Belüftung, Schutz und andere Funktionen, um gemeinsam die Dicke, Dotierung, Defekte und andere Materialeigenschaften des SiC-Epitaxieschichtwachstums innerhalb der Reaktionskammer zu steuern.

Verwandte Produkte von VeTek Semiconductor: oberer Halbmond, unterer Halbmond, Schutzabdeckung, Isolierabdeckung, Schnittstelle zur Prozessluftumleitung. Unser Unternehmen ist bestrebt, seinen Kunden ein umfassendes Sortiment an SiC-beschichteten und TaC-beschichteten Reaktionskammer-Komponentenlösungen anzubieten.


Produktparameter des mit Tantalkarbid beschichteten Halbmondteils für LPE

Physikalische Eigenschaften der TaC-Beschichtung
Dichte 14,3 (g/cm³)
Spezifischer Emissionsgrad 0.3
Wärmeausdehnungskoeffizient 6,3 10-6/K
Härte (HK) 2000 HK
Widerstand 1×10-5 Ohm*cm
Thermische Stabilität <2500℃
Graphitgrößenänderungen -10~-20um
Beschichtungsdicke ≥20um typischer Wert (35um±10um)


VeTek Semiconductor Production Shop


Überblick über die Industriekette der Halbleiterchip-Epitaxie:


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