TaC-beschichteter Wafer-Suszeptor

Der TaC-beschichtete Wafer-Suszeptor von eTek Semiconductor ist eine mit Tantalkarbid beschichtete Graphitschale für das epitaktische Wachstum von Siliziumkarbid zur Verbesserung der Waferqualität und -leistung. VeTek wurde aufgrund seiner fortschrittlichen Beschichtungstechnologie und langlebigen Lösungen ausgewählt, um hervorragende SiC-Epitaxieergebnisse und eine längere Suszeptorlebensdauer zu gewährleisten. Wir freuen uns über Ihre weiteren Anfragen.

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Produktbeschreibung

Der mit TaC beschichtete Wafer-Suszeptor von VeTek Semiconductor ist eine Schlüsselkomponente, die in verwendet wirdMetallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD)Reaktoren fürHalbleiterepitaxieprozesse (EPI).. Diese spezielle Rundbasis besteht aus hochwertigem Graphit und ist mit einer Schicht Tantalkarbid (TaC) beschichtet, das für seine außergewöhnlichen thermischen und chemischen Eigenschaften bekannt ist.

Die Hauptfunktion der TaC-Beschichtung besteht darin, die Leistung und Haltbarkeit des Wafer-Suszeptors unter den rauen Bedingungen der Halbleiterfertigung zu verbessern. Tantalcarbid ist bekannt für seine Härte, seinen hohen Schmelzpunkt und seine hervorragende Verschleißfestigkeit und ist somit die ideale Schutzschicht. Diese Beschichtung schützt die darunter liegende Graphitbasis vor den darin auftretenden korrosiven chemischen Reaktionen und mechanischen BelastungenMOCVD-ReaktorenDies verlängert die Lebensdauer der Ausrüstung und verbessert die Zuverlässigkeit.

Während des epitaktischen Wachstums von Halbleitermaterialien spielt der TaC-beschichtete Wafer-Suszeptor eine entscheidende Rolle, indem er eine präzise Filmabscheidung gewährleistet. Seine Beständigkeit gegenüber hohen Temperaturen und rauen chemischen Umgebungen ist entscheidend für die präzise Produktion von Halbleiterbauelementen und ermöglicht einen stabilen Betrieb der Geräte unter anspruchsvollen Prozessbedingungen.

Die Kombination aus aGraphitkernUndTaC-Beschichtungsorgt für eine gleichmäßige Wärmeverteilung über den Suszeptor, was für die Verbesserung der Wiederholbarkeit und Qualität der während des MOCVD-Prozesses gewachsenen Halbleiterschichten unerlässlich ist. Dieses fortschrittliche Materialdesign sorgt nicht nur für Langlebigkeit, sondern erfüllt auch die hohen Anforderungen der modernen Halbleiterfertigung für leistungsstarke elektronische Komponenten.

Als führender Lieferant und Hersteller von TaC-beschichteten Wafer-Suszeptoren ist VeTek Semiconductor bestrebt, qualitativ hochwertige technische Lösungen für die Halbleiterindustrie zu liefern. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger vertrauenswürdiger Partner in China zu werden und zuverlässige, maßgeschneiderte Produkte anzubieten.

Geschäfte für TaC-beschichtete Wafer-Suszeptoren von VeTek Semiconductor:

TaC coated wafer susceptor shops