TaC-Beschichtungsführungsring

VeTek Semiconductor ist ein professioneller Hersteller und Lieferant von TaC-Beschichtungsführungsringen, TaC-Beschichtungstiegeln und Saatguthaltern in China.

TaC-beschichteter Tiegel, Keimhalter und TaC-beschichteter Führungsring im SiC- und AIN-Einkristallofen wurden durch das PVT-Verfahren gezüchtet.

Wenn das physikalische Dampftransportverfahren (PVT) zur Herstellung von SiC verwendet wird, befindet sich der Impfkristall im relativ niedrigen Temperaturbereich und das SiC-Rohmaterial im relativ hohen Temperaturbereich (über 2400 °C). Bei der Rohstoffzersetzung entsteht SiXCy (hauptsächlich einschließlich Si, SiC₂, Si₂C usw.). Das Dampfphasenmaterial wird vom Hochtemperaturbereich zum Impfkristall im Niedertemperaturbereich transportiert, bildet Keime und wächst. Um einen Einkristall zu bilden. Die in diesem Prozess verwendeten Wärmefeldmaterialien, wie Tiegel, Strömungsführungsring, Impfkristallhalter, sollten hochtemperaturbeständig sein und SiC-Rohstoffe und SiC-Einkristalle nicht verschmutzen. Ebenso müssen die Heizelemente beim Wachstum von AlN-Einkristallen beständig gegen Al-Dampf und N₂-Korrosion sein und eine hohe eutektische Temperatur (und AlN) aufweisen, um die Kristallvorbereitungszeit zu verkürzen.

Es wurde festgestellt, dass die mit TaC-beschichteten Graphit-Wärmefeldmaterialien hergestellten SiC- und AlN-Materialien sauberer waren, fast keinen Kohlenstoff (Sauerstoff, Stickstoff) und andere Verunreinigungen enthielten, weniger Kantendefekte aufwiesen, in jedem Bereich einen geringeren spezifischen Widerstand hatten und die Mikroporendichte und Ätzgrubendichte waren deutlich reduziert (nach dem KOH-Ätzen) und die Kristallqualität wurde stark verbessert. Darüber hinaus ist die Gewichtsverlustrate des TaC-Tiegels nahezu Null, das Erscheinungsbild ist zerstörungsfrei, kann recycelt werden (Lebensdauer bis zu 200 Stunden) und kann die Nachhaltigkeit und Effizienz einer solchen Einkristallherstellung verbessern.

Produktparameter des TaC-Beschichtungsführungsrings:

Produktionsstätten:

Überblick über die Industriekette der Halbleiterchip-Epitaxie: