TaC-Beschichtungsheizung

VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller und Innovator von TaC-Beschichtungsheizungen in China. Dieses Produkt hat einen extrem hohen Schmelzpunkt (ca. 3880°C). Der hohe Schmelzpunkt des TaC Coating Heater ermöglicht den Betrieb bei extrem hohen Temperaturen, insbesondere beim Wachstum von Galliumnitrid (GaN)-Epitaxieschichten im metallorganischen chemischen Gasphasenabscheidungsprozess (MOCVD). VeTek Semiconductor ist bestrebt, fortschrittliche Technologie- und Produktlösungen für die Halbleiterindustrie bereitzustellen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

TaC Coating Heater ist ein Hochleistungsheizelement, das häufig in Halbleiterfertigungsprozessen eingesetzt wird. Seine Oberfläche ist mit Tantalkarbid (TaC) beschichtet, was dem Heizgerät eine hervorragende Hochtemperaturbeständigkeit, chemische Korrosionsbeständigkeit und hervorragende Wärmeleitfähigkeit verleiht.

Zu den Hauptanwendungen der TaC-Beschichtungsheizung in der Halbleiterfertigung gehören:

Während des epitaktischen Wachstumsprozesses von Galliumnitrid (GaN) sorgt der TaC-Beschichtungsheizer für eine präzise kontrollierte Hochtemperaturumgebung, um sicherzustellen, dass die Epitaxieschicht mit gleichmäßiger Geschwindigkeit und hoher Qualität auf dem Substrat abgeschieden wird. Seine stabile Wärmeabgabe trägt zur präzisen Steuerung von Dünnschichtmaterialien bei und verbessert so die Geräteleistung.

Darüber hinaus wird beim metallorganischen chemischen Gasphasenabscheidungsprozess (MOCVD) in Kombination mit der hohen Temperaturbeständigkeit und Wärmeleitfähigkeit der TaC-Beschichtung der TaC-Beschichtungsheizer normalerweise zum Erhitzen des Reaktionsgases verwendet und sorgt durch die Bereitstellung einer gleichmäßigen Wärmeverteilung für eine gleichmäßigere Wärmeverteilung seine chemische Reaktion auf der Substratoberfläche, wodurch die Gleichmäßigkeit der Epitaxieschicht verbessert und ein hochwertiger Film gebildet wird.

Als Branchenführer bei TaC-Beschichtungsheizungsprodukten unterstützt VeTek Semiconducto stets Produktanpassungsdienste und zufriedenstellende Produktpreise. Ganz gleich, welche spezifischen Anforderungen Sie haben, wir finden für Sie die beste Lösung für Ihren Bedarf an TaC-Beschichtungsheizungen und freuen uns jederzeit auf Ihre Beratung.

Grundlegende physikalische Eigenschaften des TaC-Beschichtungsheizgeräts:

Physical properties of TaC coating
Dichte	14,3 (g/cm³)
Spezifischer Emissionsgrad	0.3
Wärmeausdehnungskoeffizient	6,3 10-6/K
Härte (HK)	2000 HK
Widerstand	1×10-5 Ohm*cm
Thermische Stabilität	<2500℃
Graphitgrößenänderungen	-10~-20um
Beschichtungsdicke	≥20um typischer Wert (35um±10um)