Sockelstützplatte mit TaC-Beschichtung

VeTek Semiconductor ist ein chinesischer Hersteller und Lieferant, der hauptsächlich CVD-TaC-Beschichtungssuszeptoren, Einlassringe, Wafer Chunck, TaC-beschichtete Halter und TaC-Beschichtungssockel-Stützplatten mit langjähriger Erfahrung herstellt. Ich hoffe, eine Geschäftsbeziehung mit Ihnen aufzubauen.

TaC-Keramik hat einen Schmelzpunkt von bis zu 3880 °C, eine hohe Härte (Mohs-Härte 9–10), eine große Wärmeleitfähigkeit (22 W·m-1·K−1), eine große Biegefestigkeit (340–400 MPa) und eine geringe Wärmeausdehnung Koeffizient (6,6×10−6K−1) und weisen eine ausgezeichnete thermochemische Stabilität und ausgezeichnete physikalische Eigenschaften auf. Es verfügt über eine gute chemische und mechanische Kompatibilität mit Graphit und C/C-Verbundwerkstoffen, weshalb die TaC-Beschichtung häufig für den Wärmeschutz in der Luft- und Raumfahrt, für das Wachstum von Einkristallen und für epitaktische Reaktoren wie Aixtron und LPE-EPI-Reaktoren in der Halbleiterindustrie verwendet wird. TaC-beschichteter Graphit hat eine bessere chemische Korrosionsbeständigkeit als blanke Steintinte oder SiC-beschichteter Graphit, kann bei hohen Temperaturen von 2200 ° stabil verwendet werden, reagiert nicht mit vielen Metallelementen und ist die dritte Generation der Halbleiter-Einkristallwachstums-, Epitaxie- und Waferätzszene Die Beschichtung mit der besten Leistung kann den Prozess der Temperatur- und Verunreinigungskontrolle sowie die Herstellung hochwertiger Siliziumkarbid-Wafer und zugehöriger Epitaxie-Wafer erheblich verbessern. Es eignet sich besonders für die Züchtung von GaN- oder AlN-Einkristallen in MOCVD-Geräten und SiC-Einkristallen in PVT-Geräten, und die Qualität des gezüchteten Einkristalls wird offensichtlich verbessert.

TaC-Beschichtung und SiC-Beschichtung Ersatzteile, die wir herstellen können:

Parameter der TaC-Beschichtung:

Industriekette:

Produktionswerkstatt