Rotationsplatte mit TaC-Beschichtung

Die Rotationsplatte mit TaC-Beschichtung von VeTek Semiconductor hat eine hochreine Zusammensetzung, einen Verunreinigungsgehalt von weniger als 5 ppm und eine dichte und gleichmäßige Struktur, die in LPE-EPI-Systemen, Aixtron-Systemen, Nuflare-Systemen, TEL-CVD-Systemen, VEECO-Systemen und TSI weit verbreitet ist Systeme.

Hervorragende mechanische Eigenschaften:

Beschichtungshärte bis 2300HV, mit ausgezeichneter Verschleißfestigkeit.

Die Haftung zwischen der Beschichtung und dem Untergrund ist stark und es ist nicht leicht, abzufallen oder sich abzulösen.

Die Beschichtung kann bei hohen Temperaturen immer noch eine gute strukturelle Stabilität aufrechterhalten.

Ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit:

Das TaC-Material selbst weist eine ausgezeichnete chemische Stabilität und Korrosionsbeständigkeit auf.

Die Beschichtungen von VeTek-Halbleitern funktionieren in einer Vielzahl aggressiver Gasumgebungen gut.

Kann die internen Komponenten der Ausrüstung wirksam vor Korrosionsschäden schützen.

Hohe Oberflächengüte:

VeTek Semiconductorverwendet einen präzisen Beschichtungsprozess, um das gewünschte Finish zu erzielen.

Eine geringe Oberflächenrauheit trägt dazu bei, die Ansammlung und Ablagerung von Partikeln zu reduzieren.

Die Konsistenz der Beschichtung ist gut:

VeTek Semiconductorverfügt über ein solides Qualitätskontrollsystem, um eine gleichbleibende Leistung zwischen den Chargen sicherzustellen.

Die Schichtdicke ist gleichmäßig verteilt und es treten keine offensichtlichen lokalen Mängel auf.

Hervorragende praktische Anwendungsleistung:

Die TaC-Beschichtung von VeTek Semiconductor wird häufig bei vielen namhaften Herstellern von Epitaxiegeräten im In- und Ausland eingesetzt.

Produktphysikalische Parameter der TaC-beschichteten Rotationsplatte: