Mit Tantalkarbid beschichtetes Spannfutter

VeTek Semiconductor liefert hochwertige, mit Tantalkarbid beschichtete Spannfutter und SiC-Beschichtungsteile zu wettbewerbsfähigen Preisen. Willkommen bei unserer Anfrage. VeTek Semiconductor, mit Tantalkarbid beschichtetes Spannfutter, speziell für das AIXTRON G10 MOCVD-System entwickelt. Dieses Zubehör steigert die Effizienz und Qualität in der Halbleiterfertigung und sorgt für herausragende Leistung und Zuverlässigkeit.

Das aus hochwertigen Materialien gefertigte und präzise gefertigte Spannfutter verfügt über ein Graphitsubstrat, das mit CVD-Tantalkarbid (TaC) beschichtet ist. Diese Beschichtung bietet hervorragende thermische Stabilität, hohe Reinheit und Beständigkeit gegenüber hohen Temperaturen. Es gewährleistet eine zuverlässige Leistung unter den anspruchsvollen Bedingungen von MOCVD-Prozessen.

Das Spannfutter lässt sich an unterschiedliche Halbleiterwafergrößen anpassen und eignet sich somit für verschiedene Produktionsanforderungen. Seine robuste Konstruktion minimiert Ausfallzeiten und Wartungskosten, die mit Waferträgern und Suszeptoren verbunden sind.

Mit dem VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coated Chuck erzielt das AIXTRON G10 MOCVD-System eine höhere Effizienz und bessere Ergebnisse in der Halbleiterfertigung. Seine außergewöhnliche thermische Stabilität, Kompatibilität mit verschiedenen Wafergrößen und zuverlässige Leistung machen es zu einem unverzichtbaren Werkzeug zur Optimierung der Produktionseffizienz und zur Erzielung herausragender Ergebnisse in der anspruchsvollen MOCVD-Umgebung.

Produktparameter des mit Tantalkarbid beschichteten Spannfutters

Wafer-Leistung nach Verwendung unserer Komponenten:

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Überblick über die Industriekette der Halbleiterchip-Epitaxie: