VeTek Semiconductor ist der führende Hersteller und Lieferant in China für mit Tantalcarbid TaC beschichtete Halbmonde. Wir haben uns auf Forschung und Entwicklung sowie Produktion spezialisiert, können die Qualität gut kontrollieren und einen wettbewerbsfähigen Preis anbieten. Sie sind herzlich eingeladen, unsere Fabrik zu besuchen, um weitere Gespräche über eine langfristige Zusammenarbeit zu führen.
VeTek Semiconductor ist ein professioneller Hersteller und Lieferant von mit Tantalcarbid TaC beschichteten Halbmonden in China. VeTek Semiconductor bietet mit Tantalcarbid TaC beschichtete Halbmonde an, die eine unterstützende und transportierende Rolle im Epitaxieprozess von Siliziumkarbid spielen. Sie stützen nicht nur das Substrat, sondern bieten auch eine flache Grundlage, sodass die Epitaxie gleichmäßig darauf wachsen kann.
Die Qualität und Leistung des Halbmondteils wirken sich direkt auf die Qualität und Leistung des Wafers während des Siliziumkarbid-Epitaxieprozesses aus. Daher ist die Gestaltung und Auswahl des geeigneten Halbmondteils entscheidend für den Erfolg des SiC-Epitaxieprozesses. Der mit Tantalcarbid TaC beschichtete Halbmond von VeTek Semiconductor kann seine Hochtemperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit und Verschleißfestigkeit verbessern und so die Stabilität und Lebensdauer der Halbmondkomponente während des Wachstumsprozesses erheblich verbessern.
Physikalische Eigenschaften der TaC-Beschichtung | |
Dichte | 14,3 (g/cm³) |
Spezifischer Emissionsgrad | 0.3 |
Wärmeausdehnungskoeffizient | 6,3 10-6/K |
Härte (HK) | 2000 HK |
Widerstand | 1×10-5 Ohm*cm |
Thermische Stabilität | <2500℃ |
Graphitgrößenänderungen | -10~-20um |
Beschichtungsdicke | ≥20um typischer Wert (35um±10um) |
1. Hohe Temperaturbeständigkeit
2.Hohe Korrosionsbeständigkeit
3.Hohe Härte und Verschleißfestigkeit
4. Gute Wärmeleitfähigkeit
5.Gute chemische Inertheit