UV-LED-Epi-Suszeptor

Als führender chinesischer Halbleiterprodukthersteller und Marktführer konzentriert sich VeTek Semiconductor seit vielen Jahren auf verschiedene Arten von Suszeptorprodukten wie UV-LED-Epi-Suszeptor, Deep-UV-LED-Epitaxial-Suszeptor, SiC-Beschichtungs-Suszeptor, MOCVD-Suszeptor usw. VeTek Semiconductor ist bestrebt, fortschrittliche Technologie- und Produktlösungen für die Halbleiterindustrie bereitzustellen, und wir freuen uns aufrichtig darauf, Ihr Partner in China zu werden.

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Produktbeschreibung

Der UV-LED-Epi-Suszeptor von VeTek Semiconductor besteht normalerweise aus Materialien wie Siliziumkarbid (SiC) oder Graphit und verfügt normalerweise über eine spezielle Beschichtung, um seine Leistung unter Hochtemperaturbedingungen zu verbessern.

Während des Epitaxieprozesses im tiefen Ultraviolett (DUV) kann die hervorragende Wärmeleitfähigkeit des UV-LED-Epi-Suszeptors eine gleichmäßige Wärmeverteilung auf der Substratoberfläche gewährleisten, was für das Erreichen eines gleichmäßigen Wachstums der Epitaxieschicht unerlässlich ist. Und eine gleichmäßige Erwärmung trägt dazu bei, die Qualität und Konsistenz der UV-LED-Schicht aufrechtzuerhalten.

Gleichzeitig kann der UV-LED-Epi-Suszeptor während des epitaktischen Wachstumsprozesses das Substrat wie den Wafer fest fixieren und so die Genauigkeit und Stabilität der Substratposition während des Abscheidungsprozesses gewährleisten. In Kombination mit der hervorragenden chemischen Beständigkeit von Siliziumkarbid- oder beschichteten Graphit-Suszeptoren schützt es sowohl das Substrat als auch den Suszeptor selbst. Daher ist der UV-LED-Epi-Suszeptor eine unverzichtbare Schlüsselkomponente im epitaktischen Wachstumsprozess von Halbleitern.

Als Branchenführer bei UV-LED-Epi-Suszeptor-Produkten unterstützt VeTek Semiconducto stets Produktanpassungsdienste und zufriedenstellende Produktpreise. Ganz gleich, welche konkreten Anforderungen Sie haben, wir finden für Sie die beste Lösung und freuen uns jederzeit auf Ihre Beratung.