Die Wafer-Chucks von Vetek Semiconductor spielen eine zentrale Rolle in der Halbleiterproduktion und ermöglichen eine schnelle und qualitativ hochwertige Produktion. Mit eigener Fertigung, wettbewerbsfähigen Preisen und robuster F&E-Unterstützung zeichnet sich Vetek Semiconductor durch OEM/ODM-Dienstleistungen für Präzisionskomponenten aus. Wir freuen uns auf Ihre Anfrage.
Als professioneller Hersteller möchte Vetek Semiconductor Ihnen SiC-beschichtete Wafer Chucks anbieten.
Vetek Semiconductor verfügt über die ISO9001-Zertifizierung für die Entwicklung und Herstellung einer vollständigen Palette von Komponenten für Halbleitergeräte. Zu diesen Komponenten gehören Prozessausrüstung, Abscheidungsausrüstung, Inspektionsausrüstung, Halbleiter-Wafer-Spannvorrichtungen, Durchflussmesser, Kammern, Druckhärtungssysteme wie Platten, Blöcke, Wellen, Rollen usw. 5. Als Partner von Aixtron ist Veeco (die Top Ten der Welt) Vetek Semiconductor liefert Halbleiter-Präzisionskomponenten an führende Halbleiter-Ausrüstungshersteller in den Vereinigten Staaten, dem weltweit größten Halbleitermarkt.
Das Wafer-Chuck von Vetek Semiconductor ist eine phasengesteuerte Komponente der Wafer-Endinspektionsausrüstung in Prozessanlagen für die Halbleiter-Wafer-Produktion. Durch das systematische Qualitätskontroll- und Inspektionssystem wird eine schnelle, qualitativ hochwertige und wettbewerbsfähige Produktion erreicht. Die Kostenoptimierung wird durch die strategische Integration unserer Produktionsinfrastruktur und Partnerschaften mit nationalen und internationalen Spezialherstellern für Materialien, Komponenten, Module und Geräte erreicht.
Die Halbleiter-Wafer-Chucks von Vetek Semiconductor werden in Wafer-Erkennungsgeräten eingesetzt. Dabei werden hochpräzise Bearbeitungsmethoden und Designtechnologien eingesetzt, um sicherzustellen, dass die Ebenheit des Vakuum-Wafer-Chucks unter 3 μm liegt. Dieser sorgfältige Ansatz garantiert eine hervorragende Leistung und Genauigkeit bei der Waferinspektion.
Vorteile des Vetek Semiconductor Core:
1. Fertigung in unserer eigenen Fabrik
2. Direkte Produktion/Vertrieb zu ehrlichen Preisen.
3. Das interne Forschungs- und Entwicklungszentrum bietet Qualitätsverbesserung und Entwicklungsunterstützung und beteiligt sich aktiv an unternehmensweiten und nationalen Forschungsunterstützungsprojekten zur Teilelokalisierung.
4.OEM/ODM
Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD-SiC-Beschichtung | |
Eigentum | Typischer Wert |
Kristallstruktur | Polykristalline FCC-β-Phase, hauptsächlich (111)-orientiert |
Dichte | 3,21 g/cm³ |
Härte | 2500 Vickers-Härte (500 g Belastung) |
Körnung | 2~10μm |
Chemische Reinheit | 99,99995 % |
Wärmekapazität | 640 J·kg-1·K-1 |
Sublimationstemperatur | 2700℃ |
Biegefestigkeit | 415 MPa RT 4-Punkt |
Elastizitätsmodul | 430 Gpa 4pt Biegung, 1300℃ |
Wärmeleitfähigkeit | 300W·m-1·K-1 |
Wärmeausdehnung (CTE) | 4,5×10-6K-1 |