ALD-Empfänger

VeTek Semiconductor ist ein professioneller Hersteller von ALD-Suszeptoren, CVD-SiC-Beschichtungen und CVD-TAC-BESCHICHTUNGEN auf Graphitbasis in China. Vetek Semiconductor hat gemeinsam mit ALD-Systemherstellern SiC-beschichtete ALD-Planetenbasen entwickelt und produziert, um den hohen Anforderungen des ALD-Prozesses gerecht zu werden und den Luftstrom gleichmäßig auf dem Substrat zu verteilen. Wir freuen uns auf die weitere Zusammenarbeit mit Ihnen.

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Produktbeschreibung

Als ProfiALD-RezeptorHersteller in China, unser ProduktALD-RezeptorDafür sorgen die präzise Temperaturkontrolle, die gleichmäßige Gasverteilung und die hervorragende Wärmeleitfähigkeit sowie weitere ProdukteigenschaftenALD-Rezeptorspielt eine entscheidende Rolle im Atomlagenabscheidungsprozess (ALD). Wichtige Rolle, begrüßen Sie Ihre Beratung.

Gleichmäßige Dünnschichtabscheidung:ALD Susceptor sorgt während des Atomic Layer Deposition (ALD)-Prozesses für eine gleichmäßige Abscheidung von Atomschichten über die gesamte Waferoberfläche. Sein einzigartiges rotierendes Design ermöglicht einen gleichmäßigen Kontakt von Gasen und Reaktanten mit der Waferoberfläche, was zu einer gleichmäßigen Filmdicke führt. Dies ist für die hochpräzise Halbleiterfertigung von entscheidender Bedeutung.

Verbessern Sie die Abscheidungsqualität: Durch die Optimierung der Temperaturkontrolle und Gasverteilung verbessert der ALD-Suszeptor die Filmqualität und -leistung erheblich und reduziert Fehler und Ungleichmäßigkeiten. Dies macht es ideal für die hochpräzise Herstellung von Halbleitern und elektronischen Geräten und gewährleistet die Zuverlässigkeit und Leistung der Produkte.

Unterstützt die Multi-Wafer-Verarbeitung:Bestimmte ALD-Suszeptor-Designs ermöglichen die gleichzeitige Verarbeitung mehrerer Wafer und erhöhen so die Produktionseffizienz. Dies ist besonders wichtig für Fertigungsumgebungen mit hohem Durchsatz, die den Anforderungen einer Großserienfertigung gerecht werden.

Geeignet für verschiedene Größen und Arten von Waffeln:ALD-Suszeptoren sind im Allgemeinen auf hohe Kompatibilität ausgelegt und können verschiedene Größen und Arten von Wafern unterstützen. Dies macht es in einer Vielzahl von Produktionsprozessen effektiv und bietet eine größere Flexibilität und Anpassungsfähigkeit.

Reduzieren Sie die Produktionskosten:Aufgrund seiner effizienten Gasverteilung und gleichmäßigen Heizfähigkeit erhöht der ALD-Suszeptor die Effizienz des Abscheidungsprozesses und reduziert dadurch Materialverschwendung und Produktionskosten. Dies trägt nicht nur zur Verbesserung der Produktionseffizienz bei, sondern senkt auch die Herstellungskosten erheblich.

Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD-SiC-Beschichtung: