SiC-Keramik-Waferboot
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SiC-Keramik-Waferboot

VeTek Semiconductor ist ein führender Lieferant, Hersteller und Hersteller von SiC-Keramik-Waferbooten in China. Unser SiC-Keramik-Waferboot ist eine wichtige Komponente in fortschrittlichen Wafer-Handhabungsprozessen für die Photovoltaik-, Elektronik- und Halbleiterindustrie. Wir freuen uns auf Ihre Beratung.

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Produktbeschreibung

VeTek-Halbleiter-SiC-KeramikWafer-Bootist ein Beispiel für Spitzeninnovationen in der Siliziumkarbid-Technologie und bietet eine robuste Lösung für die Hochleistungs-Waferverarbeitung. Seine Siliziumkarbid-Konstruktion sorgt für hervorragende Haltbarkeit und außergewöhnliche Beständigkeit gegen thermische Belastungen und ermöglicht es ihm, den extremen Bedingungen moderner Fertigungsumgebungen standzuhalten. Von hohen Temperaturen bis hin zu hartem Plasmabeschuss behält das Siliziumkarbid-Wafer-Boot seine strukturelle Integrität und gewährleistet so einen konsistenten und zuverlässigen Betrieb über längere Zeiträume.

SiC Ceramics Wafer Boat working diagram


EDas SiC-Keramik-Wafer-Boot wurde für überlegene Leistung entwickelt und weist eine bemerkenswerte Beständigkeit gegen chemische Korrosion aufEs ist ideal für Anwendungen, die aggressiven Chemikalien und reaktivem Plasma ausgesetzt sind. Diese Eigenschaft ist für Prozesse wie Diffusion, Oxidation und Glühen von entscheidender Bedeutung, bei denen die Aufrechterhaltung der Materialreinheit und -stabilität von größter Bedeutung ist. Die Fähigkeit des SiC-Keramik-Wafer-Boots, Verschleiß und Verformung zu widerstehen, erhöht seine Attraktivität zusätzlich und stellt sicher, dass es in anspruchsvollen Wafer-Produktionsszenarien ein zuverlässiger Aktivposten bleibt.


Dank seiner hervorragenden Wärmeleitfähigkeit leitet das SiC-Wafer-Boot die Wärme effizient ab und sorgt so für eine gleichmäßige Temperaturverteilung während der Waferverarbeitung. Diese Eigenschaft ist besonders beim Kristallwachstum und anderen temperaturempfindlichen Vorgängen von Vorteil, da sie das Risiko einer Waferbeschädigung minimiert und zu höheren Produktausbeuten beiträgt. Dank seiner hohen Tragfähigkeit kann er erhebliche Waferlasten aufnehmen, ohne sich zu verbiegen oder zu verziehen, und sorgt so für eine präzise Ausrichtung und Handhabung während des gesamten Produktionsprozesses.


Bei der Produktion von Photovoltaikzellen unterstützt das SiC-Boot kritische Phasen wie zKristallwachstum und -diffusion, was zu einer verbesserten Energieumwandlungseffizienz beiträgt. In der Halbleiterfertigung ist es eine Schlüsselkomponente für die Aufrechterhaltung der hohen Reinheit, die für Geräte der nächsten Generation erforderlich ist. Darüber hinaus unterstreicht seine Rolle in der Elektronikfertigung seine Vielseitigkeit und Zuverlässigkeit bei der Erzielung optimaler Produktionsergebnisse.


Im Vergleich zu herkömmlichen Materialien wie Graphit und Keramik bietet das SiC-Siliziumkarbid-Keramik-Waferboot unvergleichliche Vorteile. Seine Langlebigkeit und Widerstandsfähigkeit gegenüber mechanischem Verschleiß reduzieren den Wartungsaufwand und Betriebsunterbrechungen erheblich, was zu Kosteneinsparungen und erhöhter Produktivität führt. Die hohe thermische und chemische Stabilität des Materials stellt sicher, dass es Alternativen in einer Vielzahl anspruchsvoller Umgebungen übertrifft.


VeTek Semiconductor ist sich bewusst, dass jeder Herstellungsprozess einzigartige Anforderungen hat. Aus diesem Grund bieten wir umfassende Anpassungsmöglichkeiten für das SiC-Keramik-Wafer-Boot, einschließlich maßgeschneiderter Abmessungen, Strukturdesigns und anderer spezifischer Merkmale. Diese Anpassungsfähigkeit gewährleistet eine nahtlose Integration in verschiedene Fertigungseinrichtungen und ermöglicht eine optimale Leistung, die auf Ihre spezifischen Anforderungen zugeschnitten ist.


Wenn Sie sich für VeTek Semiconductor entscheiden, gehen Sie eine Partnerschaft mit einem Unternehmen ein, das sich dafür einsetzt, die Grenzen der Siliziumkarbid-Innovation zu erweitern. Mit einem starken Fokus auf Qualität, Leistung und Kundenzufriedenheit liefern wir Produkte, die die strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie nicht nur erfüllen, sondern übertreffen. Lassen Sie uns Ihnen dabei helfen, mit unseren fortschrittlichen Lösungen mehr Effizienz, Zuverlässigkeit und Erfolg in Ihrem Betrieb zu erzielenSiCSiliziumkarbid-KeramiksWafer-Boot-Lösungen.


Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid

Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid
EigentumTypischer Wert Typischer Wert
Arbeitstemperatur (°C)
1600°C (mit Sauerstoff), 1700°C (reduzierende Umgebung)
SiC-Gehalt
> 99,96 %
Kostenlose Si-Inhalte
< 0,1 %
Schüttdichte
2,60–2,70 g/cm3
Scheinbare Porosität
< 16 %
Kompressionsstärke
> 600 MPa
Kaltbiegefestigkeit
80-90 MPa (20°C)
Warmbiegefestigkeit
90–100 MPa (1400 °C)
Wärmeausdehnung bei 1500 °C
4,70 10-6/°C
Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C
23 W/m•K
Elastizitätsmodul
240 GPa
Thermoschockbeständigkeit
Extrem gut

VeTek-Geschäfte für Halbleiter-SiC-Keramik-Wafer-Bootsprodukte

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