SiC-beschichtetes Siliziumkarbid-Waferboot

VeTek Semiconductor ist ein professioneller Hersteller und Lieferant in China für SiC-beschichtete Siliziumkarbid-Waferboote. Mit jahrelanger Erfahrung in Forschung und Entwicklung sowie Produktion kann die Qualität gut kontrolliert und ein wettbewerbsfähiger Preis angeboten werden. Willkommen zum Besuch unserer Fabrik und für weitere Gespräche über die Zusammenarbeit.

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Produktbeschreibung

VeTek Semiconductor ist ein chinesischer Hersteller und Lieferant, der hauptsächlich SiC-beschichtete Siliziumkarbid-Waferboote mit langjähriger Erfahrung herstellt. Ich hoffe, eine Geschäftsbeziehung mit Ihnen aufzubauen. SiC-beschichtetes Siliziumkarbid-Waferboot wird in Halbleiterdiffusionsöfen verwendet, um die Wafer für verschiedene Hochtemperaturprozesse wie Ionenimplantation, Diffusion und Glühen zu transportieren. Es kann eine stabile Umgebung für die Wafer schaffen und eine gleichmäßige Temperatur und Konsistenz während der Verarbeitung gewährleisten.

SiC-beschichtete Siliziumkarbid-Waferboote weisen eine höhere Hitzebeständigkeit und chemische Stabilität auf, wodurch sie bei höheren Temperaturen betrieben werden können und eine längere Lebensdauer bieten. Darüber hinaus weisen sie geringere Materialverdampfungsraten und Gasadsorptionsraten auf, was dazu beiträgt, die Auswirkungen von Verunreinigungen auf die Waferverarbeitung zu reduzieren.

Wir können verschiedene Arten von Siliziumkarbid-Waferbooten herstellen, z. B. horizontale Waferboote, vertikale Waferboote und alle anderen kundenspezifischen Boote.

Vorteile unseres hochreinen Siliziumkarbids:

1. Hochtemperaturstabilität

2. Chemische Inertheit

3.Geringer Gehalt an Verunreinigungen

4. Wärmeleitfähigkeit

Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid

Physikalische Eigenschaften von rekristallisiertem Siliziumkarbid
Eigentum	Typischer Wert
Arbeitstemperatur (°C)	1600°C (mit Sauerstoff), 1700°C (reduzierende Umgebung)
SiC-Gehalt	> 99,96 %
Kostenlose Si-Inhalte	< 0,1 %
Schüttdichte	2,60–2,70 g/cm3
Scheinbare Porosität	< 16 %
Druckfestigkeit	> 600 MPa
Kaltbiegefestigkeit	80-90 MPa (20°C)
Warmbiegefestigkeit	90–100 MPa (1400 °C)
Wärmeausdehnung bei 1500 °C	4,70 · 10-6/°C
Wärmeleitfähigkeit bei 1200 °C	23 W/m·K
Elastizitätsmodul	240 GPa
Wärmeschockbeständigkeit	Extrem gut

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