SiC-Diffusionsofenrohr

Als führender Hersteller und Lieferant von Diffusionsofenausrüstung in China verfügt VeTek Semiconductor SiC Diffusion Furnace Tube über eine deutlich hohe Biegefestigkeit, hervorragende Oxidationsbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, hohe Verschleißfestigkeit und hervorragende mechanische Eigenschaften bei hohen Temperaturen. Dies macht es zu einem unverzichtbaren Ausrüstungsmaterial in Diffusionsofenanwendungen. VeTek Semiconductor hat sich der Herstellung und Lieferung hochwertiger SiC-Diffusionsofenrohre verschrieben und freut sich über Ihre weiteren Anfragen.

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Produktbeschreibung

Working Schematic Diagram of SiC Diffusion Furnace Tube

Arbeitsschematisches Diagramm eines SiC-Diffusionsofenrohrs

Das SiC-Diffusionsofenrohr von VeTek Semiconductor bietet die folgenden Produktvorteile:

Hervorragende mechanische Eigenschaften bei hohen Temperaturen: SiC-Diffusionsofenrohre haben die besten mechanischen Hochtemperatureigenschaften aller bekannten Keramikmaterialien, einschließlich ausgezeichneter Festigkeit und Kriechfestigkeit. Dadurch eignet es sich besonders für Anwendungen, die eine Langzeitstabilität bei hohen Temperaturen erfordern.

Ausgezeichnete Oxidationsbeständigkeit: Das SiC-Diffusionsofenrohr von VeTek Semiconductor verfügt über eine ausgezeichnete Oxidationsbeständigkeit, die beste aller Nichtoxidkeramiken. Diese Eigenschaft gewährleistet langfristige Stabilität und Leistung in Umgebungen mit hohen Temperaturen, verringert das Risiko einer Verschlechterung und verlängert die Lebensdauer der Röhre.

● Hohe Biegefestigkeit: VeTekSemi SiC Diffusion Furnace Tube hat eine Biegefestigkeit von über 200 MPa und gewährleistet hervorragende mechanische Eigenschaften und strukturelle Integrität unter den für Halbleiterherstellungsprozesse typischen hohen Belastungsbedingungen.

● Hervorragende Korrosionsbeständigkeite: Die chemische Inertheit von SiC-Ofenrohren sorgt für eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit und macht diese Rohre ideal für den Einsatz in den rauen chemischen Umgebungen, die bei der Halbleiterverarbeitung häufig vorkommen.

● Hohe Verschleißfestigkeit: SiC-Röhrenöfen verfügen über eine hohe Verschleißfestigkeit, die für die Aufrechterhaltung der Dimensionsstabilität und die Reduzierung des Wartungsaufwands bei längerem Einsatz unter abrasiven Bedingungen unerlässlich ist.

● Mit CVD-Beschichtung: Die VeTek-Halbleiter-CVD-Beschichtung hat einen Reinheitsgrad von mehr als 99,9995 %, einen Verunreinigungsgehalt von weniger als 5 ppm und einen Gehalt an schädlichen Metallverunreinigungen von weniger als 1 ppm. Der CVD-Beschichtungsprozess stellt sicher, dass die Röhre die strengen Vakuumdichtheitsanforderungen von 2–3 Torr erfüllt, was für hochpräzise Halbleiterfertigungsumgebungen von entscheidender Bedeutung ist.

● Anwendung in Diffusionsöfen: Diese Sic-Röhren sind für Halbleiterdiffusionsöfen konzipiert, wo sie eine Schlüsselrolle bei Hochtemperaturprozessen wie Dotierung und Oxidation spielen. Ihre fortschrittlichen Materialeigenschaften stellen sicher, dass sie den rauen Bedingungen dieser Prozesse standhalten und so die Effizienz und Zuverlässigkeit der Halbleiterproduktion verbessern.

VeTek Semiconductor engagiert sich seit langem für die Bereitstellung fortschrittlicher Technologie- und Produktlösungen für die Halbleiterindustrie und unterstützt professionelle, maßgeschneiderte Dienstleistungen. Wenn Sie sich für das SiC-Diffusionsofenrohr von VeTek Semiconductor entscheiden, erhalten Sie ein Produkt mit hervorragender Leistung und hoher Zuverlässigkeit, das den verschiedenen Anforderungen der modernen Halbleiterfertigung gerecht wird. Wir hoffen aufrichtig, Ihr langfristiger Partner in China zu sein.

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