Aixtron G5 MOCVD Suszeptoren

Als professioneller Hersteller möchte VeTek Semiconductor Ihnen Aixtron G5 MOCVD-Suszeptoren wie SiC-beschichtete Graphitteile, TaC-beschichtete Graphitteile, feste SiC/CVD-SiC- und Quarzteile anbieten. Willkommen bei uns.

Aixtron G5 ist ein Beschichtungssystem für Verbindungshalbleiter. AIX G5 MOCVD nutzt eine vom Produktionskunden bewährte AIXTRON-Planetenreaktorplattform mit einem vollautomatischen Kartuschen-Wafertransfersystem (C2C). Erreicht die branchenweit größte Einzelhohlraumgröße (8 x 6 Zoll) und die größte Produktionskapazität. Es bietet flexible 6- und 4-Zoll-Konfigurationen, die darauf ausgelegt sind, die Produktionskosten zu minimieren und gleichzeitig eine hervorragende Produktqualität aufrechtzuerhalten. Das Warmwand-Planeten-CVD-System zeichnet sich durch das Wachstum mehrerer Platten in einem einzigen Ofen aus und weist eine hohe Produktionseffizienz auf. VeTek Semiconductor bietet ein komplettes Zubehörset für das Aixtron G5 MOCVD-System an. Aixtron G5 MOCVD-Suszeptoren bestehen aus folgendem Zubehör:

Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD-SiC-Beschichtung:

VeTek Halbleiterproduktionswerkstatt