CVD-SiC-beschichtete Decke

VeTek Semiconductor CVD-SiC-beschichtete Deckewird aufgrund seiner hervorragenden Leistung häufig im Bereich der Halbleiterverarbeitung eingesetzt. Es kann nicht nur die Reinraumumgebung wirksam schützen, sondern auch die Produktionseffizienz verbessern und die Produktionskosten senken. Wir freuen uns über Ihre Beratung.

Die spezifische Rolle von VeTek SemiconductorCVD-SiC-beschichtete Deckeim Bereich der Halbleiterverarbeitung ist wie folgt:

Schutz der Reinraumumgebung:

Anti-Umweltverschmutzung: Die Oberfläche der SiC-Beschichtung ist glatt und dicht, und es ist nicht einfach, Partikel zu adsorbieren, was die Diffusion von Partikeln in der Reinraumumgebung wirksam verhindert und die hohe Reinheit des Produkts gewährleistet.

Chemische Korrosionsbeständigkeit: Die SiC-Beschichtung kann der Korrosion starker Säuren, starker Laugen und anderer Chemikalien widerstehen, die Deckenstruktur schützen und die Lebensdauer verlängern.

Statische Kontrolle:

Reduzieren Sie statische Elektrizität: Die SiC-Beschichtung weist eine gute Leitfähigkeit auf, wodurch die Erzeugung und Ansammlung statischer Elektrizität wirksam reduziert und die Beschädigung statischer Elektrizität an Halbleiterbauelementen verringert werden kann.

Wärmemanagement:

Wärmeableitung: Die hohe Wärmeleitfähigkeit von SiC trägt dazu bei, Wärme schnell abzuleiten, die Temperatur im Reinraum zu senken und eine stabile Arbeitsumgebung für Präzisionsinstrumente und -geräte zu schaffen.

Verschleißfestigkeit: Lebensdauer verlängern: Die SiC-Beschichtung weist eine extrem hohe Härte auf, die dem Verschleiß wirksam widerstehen, die Lebensdauer der Decke verlängern und die Wartungskosten senken kann.

Mit der kontinuierlichen Weiterentwicklung der Halbleitertechnologie wird in ZukunftDecken mit CVD-SiC-Beschichtungwird in mehr Bereichen eingesetzt und bietet zuverlässigere Garantien für die Entwicklung der Halbleiterindustrie.

Produktparameter:

CVD-SiC-beschichtete DeckeProduktionshallen:

Überblick über die Industriekette der Halbleiterchip-Epitaxie：