Der CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor von VeTek Semiconductor ist ein präzisionsgefertigtes Werkzeug, das für die Handhabung und Verarbeitung von Halbleiterwafern entwickelt wurde. Dieser SiC-Beschichtungs-Epitaxie-Suszeptor spielt eine entscheidende Rolle bei der Förderung des Wachstums dünner Filme, Epischichten und anderer Beschichtungen und kann Temperatur und Materialeigenschaften präzise steuern. Begrüßen Sie Ihre weiteren Anfragen.
CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor ist eine Art vonMOCVD-LED-Epi-Suszeptor, das im CVD-Reaktor eine zentrale Rolle spielt. Als Epi-Suszeptor dient er nicht nur als Wärmequelle, sondern bietet auch eine stabile Stützplattform für das Substrat während des Abscheidungsprozesses.SiC-Beschichtungkann die Oxidation und Kontamination des Graphit-Suszeptors in Umgebungen mit hohen Temperaturen wirksam reduzieren und so die hohe Reinheit des abgeschiedenen Materials gewährleisten.
BasicPhysikalische Eigenschaften der CVD-SiC-Beschichtung:
Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD-SiC-Beschichtung
Eigentum
Typischer Wert
Kristallstruktur
Polykristalline FCC-β-Phase, hauptsächlich (111)-orientiert
Dichte
3,21 g/cm³
Härte
2500 Vickers-Härte (500 g Belastung)
Körnung
2~10μm
Chemische Reinheit
99,99995 %
Wärmekapazität
640 J·kg-1·K-1
Sublimationstemperatur
2700℃
Biegefestigkeit
415 MPa RT 4-Punkt
Elastizitätsmodul
430 Gpa 4pt Biegung, 1300℃
Wärmeleitfähigkeit
300W·m-1·K-1
Wärmeausdehnung (CTE)
4,5×10-6K-1
Produktvorteile des CVD-SiC-Beschichtungs-Epitaxie-Suszeptors:
● Präzise Abscheidung: Mit dem CVD SiC Coating Epitaxy Susceptor können Sie eine präzise kontrollierte Abscheidung dünner Filme und Beschichtungen erreichen, um qualitativ hochwertige und wiederholbare Ergebnisse zu erzielen.
● Reduzierte Kontamination: SiC-Beschichtung minimiert das Risiko einer KontaminationEpi Suceptorbasierend auf Graphit, wodurch die Reinheit des abgeschiedenen Materials gewährleistet wird.
● Haltbarkeit: Die SiC-Beschichtung verbessert die Oxidationsbeständigkeit und chemische Korrosionsbeständigkeit des Graphite Epitaxy Susceptor und sorgt so für eine längere Lebensdauer und höhere Zuverlässigkeit.
VeTek Semiconductorist bestrebt, qualitativ hochwertige Produkte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten. Ob es so istWenn der EPI-Empfängeroder hochreinem Graphit-EPI-Suszeptor, wir können Ihre Anforderungen erfüllen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu sein.
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