Was ist CVD-TAC-Beschichtung?

Wie wir alle wussten,TaChat einen Schmelzpunkt von bis zu 3880°C, hohe mechanische Festigkeit, Härte, Temperaturwechselbeständigkeit; gute chemische Inertheit und thermische Stabilität gegenüber Ammoniak, Wasserstoff und siliziumhaltigen Dämpfen bei hohen Temperaturen.

Tantalcarbid-Beschichtung auf einem mikroskopischen Querschnitt

CVD-TAC-Beschichtung, chemische Gasphasenabscheidung (CVD) vonTantalcarbid (TaC)-Beschichtungist ein Verfahren zur Bildung einer hochdichten und dauerhaften Beschichtung auf einem Substrat (normalerweise Graphit). Bei dieser Methode wird TaC bei hohen Temperaturen auf der Oberfläche des Substrats abgeschieden, was zu einer Beschichtung mit ausgezeichneter thermischer Stabilität und chemischer Beständigkeit führt.

Zu den Hauptvorteilen von CVD-TaC-Beschichtungen gehören:

Extrem hohe thermische Stabilität: Hält Temperaturen über 2200 °C stand.

Chemische Beständigkeit: Kann aggressiven Chemikalien wie Wasserstoff, Ammoniak und Siliziumdampf wirksam widerstehen.

Starke Haftung: sorgt für langanhaltenden Schutz ohne Delamination.

Hohe Reinheit: minimiert Verunreinigungen und ist daher ideal für Halbleiteranwendungen.

Diese Beschichtungen eignen sich besonders für Umgebungen, die eine hohe Haltbarkeit und Widerstandsfähigkeit gegenüber extremen Bedingungen erfordern, wie z. B. bei der Halbleiterfertigung und industriellen Hochtemperaturprozessen.

In der industriellen Produktion werden Graphitmaterialien (Kohlenstoff-Kohlenstoff-Verbundwerkstoffe), die mit einer TaC-Beschichtung beschichtet sind, höchstwahrscheinlich herkömmliche hochreine Graphite, pBN-Beschichtungen, SiC-Beschichtungsteile usw. ersetzen. Darüber hinaus hat TaC im Bereich der Luft- und Raumfahrt ein großes Potenzial dazu kann als Hochtemperatur-Antioxidations- und Anti-Ablationsbeschichtung verwendet werden und hat breite Anwendungsaussichten. Allerdings gibt es noch viele Herausforderungen, um die Herstellung einer dichten, gleichmäßigen, nicht abblätternden TaC-Beschichtung auf der Graphitoberfläche zu erreichen und die industrielle Massenproduktion zu fördern.

In diesem Prozess sind die Erforschung des Schutzmechanismus der Beschichtung, die Innovation des Produktionsprozesses und der Wettbewerb mit der höchsten ausländischen Ebene für die dritte Generation von entscheidender BedeutungHalbleiterkristallwachstum und Epitaxie.

VeTek Semiconductor ist ein professioneller chinesischer Hersteller von CVD-Tantalcarbid-Beschichtungsprodukten, wie zCVD-TaC-Beschichtungstiegel, Waferträger mit CVD-TaC-Beschichtung, CVD-TaC-Beschichtungsträger,CVD-TaC-Beschichtungsabdeckung, CVD-TaC-Beschichtungsring. VeTek Semiconductor ist bestrebt, fortschrittliche Lösungen für verschiedene Beschichtungsprodukte für die Halbleiterindustrie bereitzustellen.

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