China SiC-Epitaxieprozess Hersteller, Lieferant, Fabrik

Die einzigartigen Karbidbeschichtungen von VeTek Semiconductor bieten hervorragenden Schutz für Graphitteile im SiC-Epitaxieprozess für die Verarbeitung anspruchsvoller Halbleiter- und Verbundhalbleitermaterialien. Das Ergebnis ist eine längere Lebensdauer der Graphitkomponenten, die Erhaltung der Reaktionsstöchiometrie, die Hemmung der Verunreinigungsmigration zu Epitaxie- und Kristallwachstumsanwendungen, was zu einer höheren Ausbeute und Qualität führt.

Unsere Tantalcarbid (TaC)-Beschichtungen schützen kritische Ofen- und Reaktorkomponenten bei hohen Temperaturen (bis zu 2200 °C) vor heißem Ammoniak, Wasserstoff, Siliziumdämpfen und geschmolzenen Metallen. VeTek Semiconductor verfügt über eine breite Palette an Graphitverarbeitungs- und Messmöglichkeiten, um Ihre individuellen Anforderungen zu erfüllen. Daher können wir eine kostenpflichtige Beschichtung oder einen Komplettservice anbieten, wobei unser Team aus erfahrenen Ingenieuren bereit ist, die richtige Lösung für Sie und Ihre spezifische Anwendung zu entwickeln .

Verbundhalbleiterkristalle

VeTek Semiconductor kann spezielle TaC-Beschichtungen für verschiedene Komponenten und Träger bereitstellen. Durch den branchenführenden Beschichtungsprozess von VeTek Semiconductor kann die TaC-Beschichtung eine hohe Reinheit, hohe Temperaturstabilität und hohe chemische Beständigkeit erreichen, wodurch die Produktqualität der kristallinen TaC/GaN- und EPl-Schichten verbessert und die Lebensdauer kritischer Reaktorkomponenten verlängert wird.

Wärmeisolatoren

SiC-, GaN- und AlN-Kristallwachstumskomponenten, einschließlich Tiegel, Keimhalter, Deflektoren und Filter. Industrielle Baugruppen, einschließlich Widerstandsheizelemente, Düsen, Abschirmringe und Lötvorrichtungen, GaN- und SiC-Epitaxie-CVD-Reaktorkomponenten, einschließlich Waferträger, Satellitenschalen, Duschköpfe, Kappen und Sockel, MOCVD-Komponenten.

Zweck:

LED-Waferträger (Leuchtdiode).

ALD-Empfänger (Halbleiter).

EPI-Rezeptor (SiC-Epitaxieprozess)

TaC-beschichteter Satellitensuszeptor Suszeptor und Ring mit TaC-Beschichtung Teile mit TaC-Beschichtung Halbmondteile mit TaC-Beschichtung

Vergleich von SiC-Beschichtung und TaC-Beschichtung:

	SiC	TaC
Haupteigenschaften	Ultrahohe Reinheit, ausgezeichnete Plasmabeständigkeit	Hervorragende Hochtemperaturstabilität (Hochtemperatur-Prozesskonformität)
Reinheit	>99,9999 %	>99,9999 %
Dichte (g/cm 3)	3.21	15
Härte (kg/mm 2)	2900-3300	6.7-7.2
Spezifischer Widerstand [Ωcm]	0,1-15.000	<1
Wärmeleitfähigkeit (W/m-K)	200-360	22
Wärmeausdehnungskoeffizient (10-6/℃)	4,5-5	6.3
Anwendung	Halbleiterausrüstung Keramikvorrichtung (Fokusring, Duschkopf, Dummy-Wafer)	SiC-Einkristallwachstum, Epi, UV-LED-Geräteteile

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TaC-Beschichtungsplatte

Die TaC-Beschichtungsplatte von VeTek Semiconductor ist ein bemerkenswertes Produkt, das außergewöhnliche Funktionen und Vorteile bietet. Unsere mit Präzision entworfene und perfekt konstruierte TaC-Beschichtungsplatte ist speziell auf verschiedene Anwendungen in Siliziumkarbid (SiC)-Einkristallwachstumsprozessen zugeschnitten. Die präzisen Abmessungen und die robuste Konstruktion der TaC-Beschichtungsplatte erleichtern die Integration in bestehende Systeme und gewährleisten nahtlose Kompatibilität und effizienten Betrieb. Seine zuverlässige Leistung und hochwertige Beschichtung tragen zu konsistenten und gleichmäßigen Ergebnissen bei SiC-Kristallwachstumsanwendungen bei. Wir sind bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten und freuen uns darauf, Ihr langfristiger ......

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CVD-TaC-Beschichtungsabdeckung

Die von VeTek Semiconductor bereitgestellte CVD-TaC-Beschichtungsabdeckung ist eine hochspezialisierte Komponente, die speziell für anspruchsvolle Anwendungen entwickelt wurde. Mit seinen fortschrittlichen Funktionen und seiner außergewöhnlichen Leistung bietet unsere CVD-TaC-Beschichtungsabdeckung mehrere entscheidende Vorteile. Unsere CVD-TaC-Beschichtungsabdeckung bietet den notwendigen Schutz und die Leistung, die für den Erfolg erforderlich sind. Wir freuen uns darauf, eine mögliche Zusammenarbeit mit Ihnen auszuloten!

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Planetensuszeptor mit TaC-Beschichtung

Der TaC Coating Planetary Susceptor von VeTek Semiconductor ist ein außergewöhnliches Produkt für die Epitaxieausrüstung von Aixtron. Die robuste TaC-Beschichtung bietet eine hervorragende Hochtemperaturbeständigkeit und chemische Inertheit. Diese einzigartige Kombination gewährleistet zuverlässige Leistung und lange Lebensdauer, selbst in anspruchsvollen Umgebungen. VeTek ist bestrebt, qualitativ hochwertige Produkte anzubieten und als langfristiger Partner auf dem chinesischen Markt zu wettbewerbsfähigen Preisen zu fungieren.

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Sockelstützplatte mit TaC-Beschichtung

Die Sockelstützplatte mit TaC-Beschichtung von VeTek Semiconductor ist ein hochpräzises Produkt, das speziell für die spezifischen Anforderungen von Halbleiterepitaxieprozessen entwickelt wurde. Mit seiner TaC-Beschichtung, Hochtemperaturbeständigkeit und chemischen Inertheit ermöglicht Ihnen unser Produkt die Herstellung hochwertiger EPI-Schichten mit hoher Qualität. Wir sind bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten und freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu sein.

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TaC-Beschichtungsfutter

Das TaC-Beschichtungsfutter von VeTek Semiconductor verfügt über eine hochwertige TaC-Beschichtung, die für ihre hervorragende Hochtemperaturbeständigkeit und chemische Inertheit bekannt ist, insbesondere bei Siliziumkarbid (SiC)-Epitaxieprozessen (EPI). Mit seinen außergewöhnlichen Eigenschaften und seiner überlegenen Leistung bietet unser TaC-Beschichtungsfutter mehrere entscheidende Vorteile. Wir sind bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten und freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu sein.

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LPE SiC EPI Halbmond

LPE SiC Epi Halfmoon von VeTek Semiconductor, ein revolutionäres Produkt, das entwickelt wurde, um die SiC-Epitaxieprozesse im LPE-Reaktor zu verbessern. Diese hochmoderne Lösung verfügt über mehrere Schlüsselfunktionen, die eine überragende Leistung und Effizienz in Ihren gesamten Fertigungsabläufen gewährleisten. Wir freuen uns auf eine langfristige Zusammenarbeit mit Ihnen.

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Als professioneller SiC-Epitaxieprozess Hersteller und Lieferant in China verfügen wir über eine eigene Fabrik. Egal, ob Sie maßgeschneiderte Dienstleistungen benötigen, um den spezifischen Anforderungen Ihrer Region gerecht zu werden, oder fortschrittliche und langlebige Produkte aus China kaufen möchten, Sie können uns eine Nachricht hinterlassen.