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China Tantalcarbid-Beschichtung Hersteller, Lieferant, Fabrik

VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller von Tantalcarbid-Beschichtungsmaterialien für die Halbleiterindustrie. Zu unserem Hauptproduktangebot gehören CVD-Tantalcarbid-Beschichtungsteile, gesinterte TaC-Beschichtungsteile für das SiC-Kristallwachstum oder den Halbleiterepitaxieprozess. VeTek Semiconductor hat ISO9001 bestanden und verfügt über eine gute Qualitätskontrolle. VeTek Semiconductor ist bestrebt, durch kontinuierliche Forschung und Entwicklung iterativer Technologien zum Innovator in der Tantalcarbid-Beschichtungsindustrie zu werden.

Die Hauptprodukte sindTantalcarbid-beschichteter Deflektorring, TaC-beschichteter Umlenkring, TaC-beschichtete Halbmondteile, Tantalcarbid-beschichtete Planetenrotationsscheibe (Aixtron G10), TaC-beschichteter Tiegel; TaC-beschichtete Ringe; TaC-beschichteter poröser Graphit; Graphitsuszeptor mit Tantalkarbidbeschichtung; TaC-beschichteter Führungsring; TaC-Tantalcarbid-beschichtete Platte; TaC-beschichteter Wafer-Suszeptor; TaC-Beschichtungsring; TaC-Beschichtung Graphitabdeckung; TaC-beschichteter Brockenusw., die Reinheit liegt unter 5 ppm, kann die Kundenanforderungen erfüllen.

TaC-Beschichtungsgraphit wird hergestellt, indem die Oberfläche eines hochreinen Graphitsubstrats mit einer feinen Schicht Tantalkarbid durch ein proprietäres chemisches Gasphasenabscheidungsverfahren (CVD) beschichtet wird. Der Vorteil ist im folgenden Bild dargestellt:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Die Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung hat aufgrund ihres hohen Schmelzpunkts von bis zu 3880 °C, ihrer hervorragenden mechanischen Festigkeit, Härte und Beständigkeit gegen Thermoschocks Aufmerksamkeit erregt, was sie zu einer attraktiven Alternative zu Epitaxieprozessen für Verbindungshalbleiter mit höheren Temperaturanforderungen macht. wie das Aixtron MOCVD-System und der LPE-SiC-Epitaxieprozess. Es findet auch eine breite Anwendung im SiC-Kristallwachstumsprozess mit der PVT-Methode.

Hauptmerkmale:

Temperaturstabilität

Ultrahohe Reinheit

Beständigkeit gegen H2, NH3, SiH4, Si

Beständigkeit gegen thermische Bestände

Starke Haftung auf Graphit

Schutzbeschichtung

Größe bis 750 mm Durchmesser (Der einzige Hersteller in China erreicht diese Größe)

Anwendungen:

Waffelträger

Induktiver Heizsuszeptor

Widerstandsheizelement

Satellitenscheibe

Duschkopf

Führungsring

LED-Epi-Empfänger

Einspritzdüse

Abdeckring

Hitzeschild

Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung auf einem mikroskopischen Querschnitt:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parameter der VeTek Semiconductor Tantalcarbid-Beschichtung:

Physikalische Eigenschaften der TaC-Beschichtung
Dichte	14,3 (g/cm³)
Spezifischer Emissionsgrad	0.3
Wärmeausdehnungskoeffizient	6,3 10^-6/K
Härte (HK)	2000 HK
Widerstand	1×10^-5Ohm*cm
Thermische Stabilität	<2500℃
Graphitgrößenänderungen	-10~-20um
Beschichtungsdicke	≥20um typischer Wert (35um±10um)

TaC-Beschichtung EDX-Daten：

TaC coating EDX data

Kristallstrukturdaten der TaC-Beschichtung

Element	Atomprozent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Durchschnitt
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-Beschichtungsfutter TaC-beschichtete Planetenscheibe TaC-beschichtete Platte TaC-Beschichtungsrotationsplatte TaC-Beschichtungssuszeptor Abdeckung mit CVD-TaC-Beschichtung CVD-TaC-Beschichtungsring TaC-Beschichtungsplatte

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Ersatzteil für TaC-Beschichtung

VeTek Semiconductor ist ein professioneller Hersteller von TaC-Beschichtungsplatten und anderen TaC-Beschichtungsersatzteilen in China. Die TaC-Beschichtung wird derzeit hauptsächlich in Prozessen wie dem Wachstum von Siliziumkarbid-Einkristallen (PVT-Methode), epitaktischen Scheiben (einschließlich Siliziumkarbid-Epitaxie, LED-Epitaxie) usw. verwendet. Kombiniert mit der guten Langzeitstabilität der TaC-Beschichtungsplatte, VeTek Semiconductor TaC Coating Plate ist zum Maßstab für TaC Coating-Ersatzteile geworden. Wir freuen uns darauf, dass Sie unser langfristiger Partner werden.

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GaN auf SiC-Epi-Akzeptor

VeTek Semiconductor ist ein professioneller Hersteller von GaN-auf-SiC-Epi-Suszeptoren, CVD-SiC-Beschichtungen und CVD-TAC-COATING-Graphitsuszeptoren in China. Unter ihnen spielt der GaN-auf-SiC-Epi-Suszeptor eine entscheidende Rolle bei der Halbleiterverarbeitung. Durch seine hervorragende Wärmeleitfähigkeit, Hochtemperaturverarbeitungsfähigkeit und chemische Stabilität gewährleistet es die hohe Effizienz und Materialqualität des epitaktischen GaN-Wachstumsprozesses. Wir freuen uns sehr auf Ihre weitere Beratung.

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CVD-TaC-Beschichtungsträger

Der CVD-TaC-Beschichtungsträger von VeTek Semiconductor ist hauptsächlich für den epitaktischen Prozess der Halbleiterherstellung konzipiert. Der ultrahohe Schmelzpunkt, die hervorragende Korrosionsbeständigkeit und die hervorragende thermische Stabilität des CVD-TaC-Beschichtungsträgers machen dieses Produkt im Halbleiter-Epitaxieprozess unverzichtbar. Wir hoffen aufrichtig, eine langfristige Geschäftsbeziehung mit Ihnen aufzubauen.

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TaC-Beschichtungsführungsring

Der TaC-Beschichtungsführungsring von VeTek Semiconductor wird durch Aufbringen einer Tantalkarbidbeschichtung auf Graphitteile mithilfe einer hochentwickelten Technik namens chemischer Gasphasenabscheidung (CVD) hergestellt. Dieses Verfahren ist bewährt und bietet außergewöhnliche Beschichtungseigenschaften. Durch die Verwendung des Führungsrings mit TaC-Beschichtung kann die Lebensdauer von Graphitkomponenten erheblich verlängert, die Bewegung von Graphitverunreinigungen unterdrückt und die Qualität der SiC- und AIN-Einkristalle zuverlässig aufrechterhalten werden. Willkommen bei uns.

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TaC-beschichteter Graphit-Suszeptor

Der TaC-beschichtete Graphit-Suszeptor von VeTek Semiconductor nutzt das chemische Gasphasenabscheidungsverfahren (CVD), um eine Tantalcarbid-Beschichtung auf der Oberfläche von Graphitteilen herzustellen. Dieses Verfahren ist das ausgereifteste und weist die besten Beschichtungseigenschaften auf. TaC-beschichteter Graphitsuszeptor kann die Lebensdauer von Graphitkomponenten verlängern, die Migration von Graphitverunreinigungen hemmen und die Qualität der Epitaxie sicherstellen. VeTek Semiconductor freut sich auf Ihre Anfrage.

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TaC-Beschichtungssuszeptor

VeTek Semiconductor präsentiert den TaC Coating Susceptor. Mit seiner außergewöhnlichen TaC-Beschichtung bietet dieser Suszeptor eine Vielzahl von Vorteilen, die ihn von herkömmlichen Lösungen unterscheiden. Der TaC Coating Susceptor von VeTek Semiconductor lässt sich nahtlos in bestehende Systeme integrieren und garantiert Kompatibilität und effizienten Betrieb. Seine zuverlässige Leistung und die hochwertige TaC-Beschichtung liefern konstant außergewöhnliche Ergebnisse bei SiC-Epitaxieprozessen. Wir sind bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten und freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu sein.

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Als professioneller Tantalcarbid-Beschichtung Hersteller und Lieferant in China verfügen wir über eine eigene Fabrik. Egal, ob Sie maßgeschneiderte Dienstleistungen benötigen, um den spezifischen Anforderungen Ihrer Region gerecht zu werden, oder fortschrittliche und langlebige Produkte aus China kaufen möchten, Sie können uns eine Nachricht hinterlassen.