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China Tantalcarbid-Beschichtung Hersteller, Lieferant, Fabrik

VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller von Tantalcarbid-Beschichtungsmaterialien für die Halbleiterindustrie. Zu unserem Hauptproduktangebot gehören CVD-Tantalcarbid-Beschichtungsteile, gesinterte TaC-Beschichtungsteile für das SiC-Kristallwachstum oder den Halbleiterepitaxieprozess. VeTek Semiconductor hat ISO9001 bestanden und verfügt über eine gute Qualitätskontrolle. VeTek Semiconductor ist bestrebt, durch kontinuierliche Forschung und Entwicklung iterativer Technologien zum Innovator in der Tantalcarbid-Beschichtungsindustrie zu werden.

Die Hauptprodukte sindTantalcarbid-beschichteter Deflektorring, TaC-beschichteter Umlenkring, TaC-beschichtete Halbmondteile, Tantalcarbid-beschichtete Planetenrotationsscheibe (Aixtron G10), TaC-beschichteter Tiegel; TaC-beschichtete Ringe; TaC-beschichteter poröser Graphit; Graphitsuszeptor mit Tantalkarbidbeschichtung; TaC-beschichteter Führungsring; TaC-Tantalcarbid-beschichtete Platte; TaC-beschichteter Wafer-Suszeptor; TaC-Beschichtungsring; TaC-Beschichtung Graphitabdeckung; TaC-beschichteter Brockenusw., die Reinheit liegt unter 5 ppm, kann die Kundenanforderungen erfüllen.

TaC-Beschichtungsgraphit wird hergestellt, indem die Oberfläche eines hochreinen Graphitsubstrats mit einer feinen Schicht Tantalkarbid durch ein proprietäres chemisches Gasphasenabscheidungsverfahren (CVD) beschichtet wird. Der Vorteil ist im folgenden Bild dargestellt:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Die Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung hat aufgrund ihres hohen Schmelzpunkts von bis zu 3880 °C, ihrer hervorragenden mechanischen Festigkeit, Härte und Beständigkeit gegen Thermoschocks Aufmerksamkeit erregt, was sie zu einer attraktiven Alternative zu Epitaxieprozessen für Verbindungshalbleiter mit höheren Temperaturanforderungen macht. wie das Aixtron MOCVD-System und der LPE-SiC-Epitaxieprozess. Es findet auch eine breite Anwendung im SiC-Kristallwachstumsprozess mit der PVT-Methode.

Hauptmerkmale:

Temperaturstabilität

Ultrahohe Reinheit

Beständigkeit gegen H2, NH3, SiH4, Si

Beständigkeit gegen thermische Bestände

Starke Haftung auf Graphit

Schutzbeschichtung

Größe bis 750 mm Durchmesser (Der einzige Hersteller in China erreicht diese Größe)

Anwendungen:

Waffelträger

Induktiver Heizsuszeptor

Widerstandsheizelement

Satellitenscheibe

Duschkopf

Führungsring

LED-Epi-Empfänger

Einspritzdüse

Abdeckring

Hitzeschild

Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung auf einem mikroskopischen Querschnitt:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parameter der VeTek Semiconductor Tantalcarbid-Beschichtung:

Physikalische Eigenschaften der TaC-Beschichtung
Dichte	14,3 (g/cm³)
Spezifischer Emissionsgrad	0.3
Wärmeausdehnungskoeffizient	6,3 10^-6/K
Härte (HK)	2000 HK
Widerstand	1×10^-5Ohm*cm
Thermische Stabilität	<2500℃
Graphitgrößenänderungen	-10~-20um
Beschichtungsdicke	≥20um typischer Wert (35um±10um)

TaC-Beschichtung EDX-Daten：

TaC coating EDX data

Kristallstrukturdaten der TaC-Beschichtung

Element	Atomprozent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Durchschnitt
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-Beschichtungsfutter TaC-beschichtete Planetenscheibe TaC-beschichtete Platte TaC-Beschichtungsrotationsplatte TaC-Beschichtungssuszeptor Abdeckung mit CVD-TaC-Beschichtung CVD-TaC-Beschichtungsring TaC-Beschichtungsplatte

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CVD-TaC-Beschichtungstiegel

VeTek Semiconductor ist ein professioneller Hersteller und Marktführer für CVD-TaC-Beschichtungstiegelprodukte in China. Der CVD-TaC-Beschichtungstiegel basiert auf einer Tantal-Kohlenstoff-Beschichtung (TaC). Die Tantal-Kohlenstoff-Beschichtung wird durch den chemischen Gasphasenabscheidungsprozess (CVD) gleichmäßig auf der Oberfläche des Tiegels verteilt, um dessen Hitzebeständigkeit und Korrosionsbeständigkeit zu verbessern. Es handelt sich um ein Materialwerkzeug, das speziell in extremen Umgebungen mit hohen Temperaturen eingesetzt wird. Begrüßen Sie Ihre weitere Beratung.

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Waferträger mit CVD-TaC-Beschichtung

VeTek Semiconductor CVD TaC Coating Wafer Carrier ist ein professioneller Hersteller und Hersteller von Waferträgern mit CVD-TaC-Beschichtung in China und ein Wafer-Transportwerkzeug, das speziell für Hochtemperatur- und korrosive Umgebungen in der Halbleiterfertigung entwickelt wurde. Dieses Produkt verfügt über eine hohe mechanische Festigkeit, ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit und thermische Stabilität und bietet die notwendige Garantie für die Herstellung hochwertiger Halbleiterbauelemente. Ihre weiteren Anfragen sind willkommen.

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TaC-Beschichtungsheizung

VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller und Innovator von TaC-Beschichtungsheizungen in China. Dieses Produkt hat einen extrem hohen Schmelzpunkt (ca. 3880°C). Der hohe Schmelzpunkt des TaC Coating Heater ermöglicht den Betrieb bei extrem hohen Temperaturen, insbesondere beim Wachstum von Galliumnitrid (GaN)-Epitaxieschichten im metallorganischen chemischen Gasphasenabscheidungsprozess (MOCVD). VeTek Semiconductor ist bestrebt, fortschrittliche Technologie- und Produktlösungen für die Halbleiterindustrie bereitzustellen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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TaC-beschichtetes Spannfutter

Als professioneller Hersteller und Lieferant von TaC-beschichteten Spannfuttern in China ist das TaC-beschichtete Spannfutter von VeTek Semiconductor speziell für Halbleiteröfen konzipiert. Mit seiner hohen Temperaturbeständigkeit, chemischen Inertheit und hervorragenden Leistung bietet die innovative Technologie von Vetek Semiconductor eine zuverlässige Lösung für die Halbleiterfertigungsindustrie, um qualitativ hochwertige Produktionsstandards sicherzustellen. Wir glauben, dass unsere Produkte Ihnen fortschrittliche Technologie und hochwertige Produktlösungen bieten können.

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TaC-Beschichtungsrohr

Als professioneller Hersteller und Lieferant von TaC-Beschichtungsrohren in China ist das TaC-Beschichtungsrohr von VeTek Semiconductor eine Schlüsselkomponente für das erfolgreiche Wachstum von Siliziumkarbid-Einkristallen. Mit seiner hohen Temperaturbeständigkeit, chemischen Inertheit und hervorragenden Leistung gewährleistet es die Herstellung hochwertiger Kristalle mit konsistenten Ergebnissen. Vertrauen Sie auf unsere innovativen Lösungen, um Ihren SiC-Kristallwachstumsprozess mit der PVT-Methode zu verbessern und hervorragende Ergebnisse zu erzielen. Willkommen bei uns.

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CVD-TAC-Beschichtung

VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller, Innovator und Marktführer für CVD-TAC-Beschichtung in China. Seit vielen Jahren konzentrieren wir uns auf verschiedene CVD-TAC-Beschichtungsprodukte wie CVD-TaC-Beschichtungsabdeckung, CVD-TaC-Beschichtungsring, CVD-TaC-Beschichtungsträger usw. VeTek Semiconductor unterstützt maßgeschneiderte Produktdienstleistungen und zufriedenstellende Produktpreise und freut sich auf Ihre weitere Zusammenarbeit Beratung.

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Als professioneller Tantalcarbid-Beschichtung Hersteller und Lieferant in China verfügen wir über eine eigene Fabrik. Egal, ob Sie maßgeschneiderte Dienstleistungen benötigen, um den spezifischen Anforderungen Ihrer Region gerecht zu werden, oder fortschrittliche und langlebige Produkte aus China kaufen möchten, Sie können uns eine Nachricht hinterlassen.