China Siliziumkarbidbeschichtung Hersteller, Lieferant, Fabrik

VeTek Semiconductor ist auf die Herstellung hochreiner Siliziumkarbid-Beschichtungsprodukte spezialisiert. Diese Beschichtungen sind für die Anwendung auf gereinigtem Graphit, Keramik und hochschmelzenden Metallkomponenten konzipiert.

Unsere hochreinen Beschichtungen sind vor allem für den Einsatz in der Halbleiter- und Elektronikindustrie bestimmt. Sie dienen als Schutzschicht für Waferträger, Suszeptoren und Heizelemente und schützen sie vor korrosiven und reaktiven Umgebungen, die bei Prozessen wie MOCVD und EPI auftreten. Diese Prozesse sind integraler Bestandteil der Waferverarbeitung und Geräteherstellung. Darüber hinaus eignen sich unsere Beschichtungen gut für Anwendungen in Vakuumöfen und zur Probenerwärmung, wo Hochvakuum, reaktive und Sauerstoffumgebungen herrschen.

Bei VeTek Semiconductor bieten wir mit unseren fortschrittlichen Werkstattkapazitäten eine umfassende Lösung. Dadurch ist es uns möglich, die Basiskomponenten aus Graphit, Keramik oder Refraktärmetallen herzustellen und die SiC- oder TaC-Keramikbeschichtungen im eigenen Haus aufzubringen. Wir bieten auch Beschichtungsdienste für vom Kunden bereitgestellte Teile an und gewährleisten so die Flexibilität, unterschiedlichen Anforderungen gerecht zu werden.

Unsere Siliziumkarbid-Beschichtungsprodukte werden häufig in der Si-Epitaxie, SiC-Epitaxie, MOCVD-System, RTP/RTA-Prozess, Ätzprozess, ICP/PSS-Ätzprozess und Prozess verschiedener LED-Typen, einschließlich blauer und grüner LED, UV-LED und tiefem UV, eingesetzt LED usw., die an Geräte von LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI usw. angepasst sind.

Reaktorteile, die wir herstellen können:

Die Siliziumkarbidbeschichtung bietet mehrere einzigartige Vorteile:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Siliziumkarbid-Beschichtungsparameter:

Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD-SiC-Beschichtung
Eigentum	Typischer Wert
Kristallstruktur	Polykristalline FCC-β-Phase, hauptsächlich (111)-orientiert
Dichte	3,21 g/cm³
Härte	2500 Vickers-Härte (500 g Belastung)
Körnung	2~10μm
Chemische Reinheit	99,99995 %
Wärmekapazität	640 J·kg-1·K-1
Sublimationstemperatur	2700℃
Biegefestigkeit	415 MPa RT 4-Punkt
Elastizitätsmodul	430 Gpa 4pt Biegung, 1300℃
Wärmeleitfähigkeit	300W·m-1·K-1
Wärmeausdehnung (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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Kollektoroberseite mit SiC-Beschichtung

Willkommen bei VeTek Semiconductor, Ihrem vertrauenswürdigen Hersteller von CVD-SiC-Beschichtungen. Wir sind stolz darauf, Aixtron SiC Coating Collector Top anbieten zu können, die fachmännisch aus hochreinem Graphit hergestellt werden und über eine hochmoderne CVD-SiC-Beschichtung mit Verunreinigungen unter 5 ppm verfügen. Bitte zögern Sie nicht, uns bei Fragen oder Anfragen zu kontaktieren

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Kollektorboden mit SiC-Beschichtung

Mit unserer Expertise in der CVD-SiC-Beschichtungsherstellung präsentiert VeTek Semiconductor stolz den Aixtron SiC Coating Collector Bottom. Dieser SiC-beschichtete Kollektorboden besteht aus hochreinem Graphit und ist mit CVD-SiC beschichtet, wodurch eine Verunreinigung unter 5 ppm gewährleistet wird. Für weitere Informationen und Anfragen können Sie sich gerne an uns wenden.

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SiC-Beschichtung der Innensegmente

Bei VeTek Semiconductor sind wir auf die Forschung, Entwicklung und Industrialisierung von CVD-SiC-Beschichtungen und CVD-TaC-Beschichtungen spezialisiert. Ein beispielhaftes Produkt ist das SiC Coating Cover Segments Inner, das einer umfangreichen Bearbeitung unterzogen wird, um eine hochpräzise und dicht beschichtete CVD-SiC-Oberfläche zu erzielen. Diese Beschichtung weist eine außergewöhnliche Beständigkeit gegenüber hohen Temperaturen auf und bietet einen robusten Korrosionsschutz. Bei Fragen können Sie uns gerne kontaktieren.

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Abdeckungssegmente mit SiC-Beschichtung

Vetek Semiconductor widmet sich der Weiterentwicklung und Kommerzialisierung der CVD-SiC-Beschichtung und der CVD-TaC-Beschichtung. Beispielsweise werden unsere SiC-Beschichtungs-Abdecksegmente einer sorgfältigen Verarbeitung unterzogen, was zu einer dichten CVD-SiC-Beschichtung mit außergewöhnlicher Präzision führt. Es weist eine bemerkenswerte Beständigkeit gegenüber hohen Temperaturen auf und bietet einen robusten Korrosionsschutz. Wir freuen uns über Ihre Anfragen.

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MOCVD-Akzeptor

Vetek Semiconductor konzentriert sich auf die Forschung und Entwicklung sowie die Industrialisierung von CVD-SiC-Beschichtungen und CVD-TaC-Beschichtungen. Am Beispiel des MOCVD-Suszeptors zeichnet sich das Produkt durch eine hochpräzise Verarbeitung, eine dichte CVD-SIC-Beschichtung, eine hohe Temperaturbeständigkeit und eine starke Korrosionsbeständigkeit aus. Eine Anfrage an uns ist willkommen.

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Ring vorheizen

VeTek Semiconductor ist ein innovativer Hersteller von SiC-Beschichtungen in China. Der von VeTek Semiconductor bereitgestellte Vorheizring ist für den Epitaxieprozess konzipiert. Die gleichmäßige Siliziumkarbidbeschichtung und das hochwertige Graphitmaterial als Rohstoffe sorgen für eine gleichmäßige Abscheidung und verbessern die Qualität und Gleichmäßigkeit der Epitaxieschicht. Wir freuen uns auf eine langfristige Zusammenarbeit mit Ihnen.

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Als professioneller Siliziumkarbidbeschichtung Hersteller und Lieferant in China verfügen wir über eine eigene Fabrik. Egal, ob Sie maßgeschneiderte Dienstleistungen benötigen, um den spezifischen Anforderungen Ihrer Region gerecht zu werden, oder fortschrittliche und langlebige Produkte aus China kaufen möchten, Sie können uns eine Nachricht hinterlassen.