China Siliziumkarbidbeschichtung Hersteller, Lieferant, Fabrik

VeTek Semiconductor ist auf die Herstellung hochreiner Siliziumkarbid-Beschichtungsprodukte spezialisiert. Diese Beschichtungen sind für die Anwendung auf gereinigtem Graphit, Keramik und hochschmelzenden Metallkomponenten konzipiert.

Unsere hochreinen Beschichtungen sind vor allem für den Einsatz in der Halbleiter- und Elektronikindustrie bestimmt. Sie dienen als Schutzschicht für Waferträger, Suszeptoren und Heizelemente und schützen sie vor korrosiven und reaktiven Umgebungen, die bei Prozessen wie MOCVD und EPI auftreten. Diese Prozesse sind integraler Bestandteil der Waferverarbeitung und Geräteherstellung. Darüber hinaus eignen sich unsere Beschichtungen gut für Anwendungen in Vakuumöfen und zur Probenerwärmung, wo Hochvakuum, reaktive und Sauerstoffumgebungen herrschen.

Bei VeTek Semiconductor bieten wir mit unseren fortschrittlichen Werkstattkapazitäten eine umfassende Lösung. Dadurch ist es uns möglich, die Basiskomponenten aus Graphit, Keramik oder Refraktärmetallen herzustellen und die SiC- oder TaC-Keramikbeschichtungen im eigenen Haus aufzubringen. Wir bieten auch Beschichtungsdienste für vom Kunden bereitgestellte Teile an und gewährleisten so die Flexibilität, unterschiedlichen Anforderungen gerecht zu werden.

Unsere Siliziumkarbid-Beschichtungsprodukte werden häufig in der Si-Epitaxie, SiC-Epitaxie, MOCVD-System, RTP/RTA-Prozess, Ätzprozess, ICP/PSS-Ätzprozess und Prozess verschiedener LED-Typen, einschließlich blauer und grüner LED, UV-LED und tiefem UV, eingesetzt LED usw., die an Geräte von LPE, Aixtron, Veeco, Nuflare, TEL, ASM, Annealsys, TSI usw. angepasst sind.

Reaktorteile, die wir herstellen können:

Die Siliziumkarbidbeschichtung bietet mehrere einzigartige Vorteile:

Silicon Carbide Coating several unique advantages

VeTek Semiconductor Siliziumkarbid-Beschichtungsparameter:

Grundlegende physikalische Eigenschaften der CVD-SiC-Beschichtung
Eigentum	Typischer Wert
Kristallstruktur	Polykristalline FCC-β-Phase, hauptsächlich (111)-orientiert
Dichte	3,21 g/cm³
Härte	2500 Vickers-Härte (500 g Belastung)
Körnung	2~10μm
Chemische Reinheit	99,99995 %
Wärmekapazität	640 J·kg-1·K-1
Sublimationstemperatur	2700℃
Biegefestigkeit	415 MPa RT 4-Punkt
Elastizitätsmodul	430 Gpa 4pt Biegung, 1300℃
Wärmeleitfähigkeit	300W·m-1·K-1
Wärmeausdehnung (CTE)	4,5×10-6K-1

SEM data and structure of CVD SIC films

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MOCVD-SiC-Beschichtungssuszeptor

VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller und Lieferant von MOCVD-SiC-Beschichtungssuszeptoren in China und konzentriert sich seit vielen Jahren auf die Forschung, Entwicklung und Produktion von SiC-Beschichtungsprodukten. Unsere MOCVD-SiC-Beschichtungssuszeptoren verfügen über eine ausgezeichnete Hochtemperaturtoleranz, eine gute Wärmeleitfähigkeit und einen niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten und spielen eine Schlüsselrolle bei der Unterstützung und Erwärmung von Silizium- oder Siliziumkarbidwafern (SiC) und einer gleichmäßigen Gasabscheidung. Gerne können Sie sich weiter beraten.

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Halbmondförmige Graphitteile mit SiC-Beschichtung

Als professioneller Halbleiterhersteller und -lieferant kann VeTek Semiconductor eine Vielzahl von Graphitkomponenten bereitstellen, die für epitaktische SiC-Wachstumssysteme erforderlich sind. Diese halbmondförmigen Graphitteile mit SiC-Beschichtung sind für den Gaseinlassbereich des Epitaxiereaktors konzipiert und spielen eine entscheidende Rolle bei der Optimierung des Halbleiterherstellungsprozesses. VeTek Semiconductor ist stets bestrebt, seinen Kunden Produkte von höchster Qualität zu wettbewerbsfähigsten Preisen anzubieten. VeTek Semiconductor freut sich darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Hot Zone-Graphitheizgerät

Die VeTek Semiconductor Hot Zone-Graphitheizung ist für die extremen Bedingungen in Hochtemperaturöfen ausgelegt und sorgt für eine hervorragende Leistung und Stabilität bei komplexen Prozessen wie chemischer Gasphasenabscheidung (CVD), epitaktischem Wachstum und Hochtemperaturglühen. VeTekSemi konzentriert sich stets auf die Herstellung und Bereitstellung hochwertiger Hot Zone-Graphitheizgeräte, um den Kunden die beste Kosteneffizienz zu gewährleisten. Wir laden Sie herzlich ein, mit uns Kontakt aufzunehmen.

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VEECO MOCVD-Heizung

VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller und Lieferant von VEECO MOCVD-Heizprodukten in China. Die MOCVD-Heizung weist eine ausgezeichnete chemische Reinheit, thermische Stabilität und Korrosionsbeständigkeit auf. Es ist ein unverzichtbares Produkt im MOCVD-Verfahren (Metal Organic Chemical Vapour Deposition). Gerne nehmen wir Ihre weiteren Anfragen entgegen.

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VEECO MOCVD-Empfänger

Als führender Hersteller und Lieferant von VEECO MOCVD Susceptor-Produkten in China stellt der MOCVD Susceptor von VeTek Semiconductor den Gipfel der Innovation und technischen Exzellenz dar, der speziell auf die komplexen Anforderungen moderner Halbleiterfertigungsprozesse zugeschnitten ist. Begrüßen Sie Ihre weiteren Anfragen.

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SiC-Dichtungsteil

Als fortschrittlicher Hersteller und Hersteller von SiC-Dichtungsteilen in China. Das SiC-Dichtungsteil von VeTek Semiconducto ist eine Hochleistungsdichtungskomponente, die häufig in der Halbleiterverarbeitung und anderen Prozessen mit extrem hohen Temperaturen und hohem Druck eingesetzt wird. Begrüßen Sie Ihre weitere Beratung.

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Als professioneller Siliziumkarbidbeschichtung Hersteller und Lieferant in China verfügen wir über eine eigene Fabrik. Egal, ob Sie maßgeschneiderte Dienstleistungen benötigen, um den spezifischen Anforderungen Ihrer Region gerecht zu werden, oder fortschrittliche und langlebige Produkte aus China kaufen möchten, Sie können uns eine Nachricht hinterlassen.