VEECO MOCVD-Heizung

Die VEECO MOCVD-Heizung von VeTeksemi besteht aus hochreinem Graphitmaterial mit einem streng kontrollierten Verunreinigungsgehalt von unter 5 ppm und ist mit ultrahochreinem Siliziumkarbid (SiC) mit einer Reinheit von mehr als 99,99995 % beschichtetchemisches Gasphasenabscheidungsverfahren (CVD).. Diese Materialkombination verleiht dem Heizgerät eine Reihe wichtiger Eigenschaften, die seine hervorragende Leistung im Einsatz gewährleistenMetallorganische chemische Gasphasenabscheidung (MOCVD)Verfahren.

Eines der herausragenden Merkmale des VEECO MOCVD-Heizers ist seine außergewöhnliche chemische Reinheit. Der hochreine Graphitkern reduziert die potenzielle Einführung von Verunreinigungen im Hochtemperaturprozess erheblich und sorgt so für einen äußerst sauberen Filmabscheidungsprozess. DerCVD-SiC-BeschichtungBietet zusätzlichen Schutz für die Heizung und bildet eine starke Barriere, um chemische Reaktionen zu verhindern, die die Filmqualität beeinträchtigen könnten. Diese beispiellose Reinheit ist für die Herstellung leistungsstarker und zuverlässiger Halbleiterbauelemente unerlässlich.

Gleichzeitig weist der Heizer eine extrem hohe thermische Stabilität und Effizienz auf. SiC hat einen hohen Schmelzpunkt und eine hervorragende Wärmeleitfähigkeit, sodass die Heizung die Wärme effektiv verwalten und leiten kann. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Erwärmung des gesamten Substrats, was wiederum dazu beiträgt, eine gleichmäßige Filmabscheidung zu erreichen und durch Wärmegradienten verursachte Defekte zu reduzieren. Eine solche thermische Effizienz ist besonders wichtig für die Präzisionsfertigung.

Die VEECO MOCVD-Heizung zeichnet sich auch durch ihre elektrische Leistung aus. Sein Kern aus hochreinem Graphit verfügt über eine hervorragende elektrische Leitfähigkeit, sodass der Heizer hohe elektrische Lastanforderungen bewältigen kann. Diese stabile elektrische Leistung ermöglicht der Heizung eine präzise Temperaturkontrolle und Abscheidungsrate unter Hochlastbedingungen, was für die Gewährleistung gleichbleibender Prozessbedingungen und die Verbesserung der Halbleiterfertigungseffizienz von entscheidender Bedeutung ist.

Das Oberflächendesign des Heizgeräts wurde sorgfältig optimiert, um einen hohen Emissionsgrad des Substrats zu erreichen, was die Effizienz der Strahlungswärmeübertragung erheblich verbessert. Die Fähigkeit zur gleichmäßigen Erwärmung ist ein Schlüsselfaktor für die Sicherstellung einer gleichmäßigen Schichtdicke und -eigenschaften. Das Oberflächendesign mit hohem Emissionsgrad verbessert außerdem den Gesamtwärmewirkungsgrad des Heizgeräts, wodurch der Energieverbrauch gesenkt und die Betriebskosten gesenkt werden.

Im Hinblick auf die Haltbarkeit weist die VEECO MOCVD-Heizung von VeTeksemi eine hervorragende Korrosionsbeständigkeit, Oxidationsbeständigkeit und mechanische Festigkeit auf. Die CVD-SiC-Beschichtung bietet eine solide Barriere gegen die in MOCVD-Prozessen üblichen korrosiven Gase und Chemikalien, wodurch die Lebensdauer der Ausrüstung verlängert und der Wartungsbedarf sowie die Austauschkosten gesenkt werden. Seine Oxidationsbeständigkeit stellt sicher, dass die Heizung bei hohen Temperaturen ohne Leistungseinbußen stabil bleibt und somit eine langfristige Stabilität gewährleistet.

Darüber hinaus ermöglicht die hohe mechanische Festigkeit der MOCVD-Heizung von VeTeksemi, dass sie den physikalischen Belastungen standhält, die während des Temperaturwechsels und der Substrathandhabung entstehen. Seine Robustheit verringert das Risiko mechanischer Ausfälle und gewährleistet einen zuverlässigen Betrieb der Ausrüstung unter rauen Prozessbedingungen.

Als fortschrittlicher Hersteller und Lieferant von VEECO MOCVD-Heizprodukten bietet VeTeksemi auch eine Vielzahl hochwertiger Heizprodukte an, wie zTaC-Beschichtungsheizung, Graphitheizgerät mit Siliziumkarbid-Keramikbeschichtung, Heizgerät mit Siliziumkarbid-Keramikbeschichtungusw. VeTek Semiconductor ist bestrebt, fortschrittliche und anpassbare Technologie- und Produktlösungen für die Halbleiterindustrie bereitzustellen. Wir hoffen aufrichtig, Ihr langfristiger Partner in China zu sein.