TaC-beschichteter Ring

Als führender Hersteller und Lieferant von TaC-beschichteten Ringprodukten in China konzentriert sich VeTek Semiconductor auf die Forschung und Entwicklung sowie die Produktion verschiedener TaC-Beschichtungsprodukte. Als Hauptkunden von TaC-Beschichtungsprodukten haben europäische und amerikanische Hersteller unsere Beschichtungsprodukte hoch gelobt. Willkommen zu Ihrer weiteren Beratung.

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Produktbeschreibung

Der TaC-beschichtete Ring von VeTeksemi ist eine Hochleistungskomponente, die auf Halbleiterfertigungsprozesse zugeschnitten ist. Seine einzigartig gestaltete Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung verleiht dem Produkt eine hervorragende Hochtemperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit und mechanische Stabilität und verbessert so die Lebensdauer und Zuverlässigkeit von Graphitkomponenten in Halbleitergeräten erheblich.

Überlegene Leistung von Tantalcarbid-Beschichtungen:

● Ultrahohe Temperaturbeständigkeit: TaC-Beschichtungen können problemlos extremen Temperaturen von bis zu 2200 °C standhalten und bleiben unter den in der Halbleiterfertigung üblichen Temperaturschockumgebungen stabil.

● Hervorragende chemische Stabilität: Die Beschichtung weist eine starke Beständigkeit gegenüber gängigen korrosiven Gasen wie Wasserstoff, Ammoniak, Silan und Silizium auf und schützt das Substrat wirksam vor chemischen Angriffen.

● Hervorragende mechanische Eigenschaften: Die TaC-Beschichtung weist eine hohe Härte, eine hohe Verschleißfestigkeit und eine gute Temperaturschockbeständigkeit auf und kann unter rauen Arbeitsbedingungen lange Zeit stabil arbeiten.

● Hervorragende Haftung: Die Beschichtung ist fest mit dem Graphitsubstrat verbunden, wodurch ein Abblättern der Beschichtung effektiv verhindert wird und eine gleichbleibende Leistung über die gesamte Lebensdauer des Produkts gewährleistet wird.

● Hohe Reinheit: Die durch CVD hergestellte TaC-Beschichtung weist eine extrem hohe Reinheit auf, was die Einführung von Verunreinigungen minimiert und eine saubere Prozessumgebung für die Halbleiterfertigung bietet.

Vorteile von mit Tantalkarbid beschichteten Ringen:

● Verlängerte Gerätelebensdauer: Die TaC-Beschichtung blockiert wirksam chemische Reaktionen und die Diffusion von Verunreinigungen, wodurch die Lebensdauer von Graphitkomponenten erheblich verlängert und die Wartungskosten gesenkt werden.

● Verbessern Sie die Produktionseffizienz: Die hohe Temperaturbeständigkeit und Korrosionsbeständigkeit des Produkts ermöglichen den Betrieb unter anspruchsvolleren Bedingungen, wodurch der Produktionszyklus verkürzt und die Produktionskapazität erhöht wird.

● Verbesserte Produktqualität: Die hochreine TaC-Beschichtung trägt zur Reduzierung von Verunreinigungen bei und gewährleistet die Qualität und Konsistenz von Halbleiterprodukten.

VeTek Semiconductor ist auf TaC-Beschichtungsprodukte wie spezialisiertTaC-Beschichtungsfutter, Rotationsplatte mit TaC-Beschichtung, TaC-Beschichtungsunternehmen, TaC-beschichteter Wafer-Suszeptorseit vielen Jahren. Unsere TaC-beschichteten Ringprodukte haben die Funktionen einer verlängerten Gerätelebensdauer, einer verbesserten Produktionseffizienz und einer verbesserten Produktqualität. Gleichzeitig engagiert sich VeTek Semiconductor seit langem für die Bereitstellung fortschrittlicher Technologie und Produktlösungen für die Halbleiterindustrie. Wir hoffen aufrichtig, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

Geschäfte für mit Tantalkarbid beschichtete Ringe:

Tantalum Carbide Coated Rings shops