Ersatzteil für TaC-Beschichtung

VeTek SemiconductorTaC-Beschichtungsplatteist ein spezielles Material, das in der Industrie weit verbreitet istHalbleiterHerstellungsprozess. In Kombination mit ihrer hohen Härte und Verschleißfestigkeit, ihrer hohen Temperaturbeständigkeit, Korrosionsbeständigkeit, ihrem niedrigen Reibungskoeffizienten und ihrer guten Wärmeleitfähigkeit spielt die TaC-Beschichtungsplatte in vielen Bereichen der Halbleiterverarbeitung eine unersetzliche Rolle.

Im Allgemeinen sind die Anwendungen vonTaC-beschichtete Plattenin der Halbleiterverarbeitung sind wie folgt:

CVD/ALD-Wachstumssubstrat: Die hohe Temperaturbeständigkeit, chemische Stabilität und der niedrige Reibungskoeffizient von TaC-beschichteten Platten machen sie zu idealen CVD/ALD-Wachstumssubstraten. Es kann eine stabile Wachstumsumgebung bieten, um die Gleichmäßigkeit und Dichte des Films sicherzustellen.

Ätzmaskenplatte: Die hohe Härte und Korrosionsbeständigkeit von TaC-beschichteten Platten ermöglicht es ihnen, hochenergetischen Prozessen wie Plasmaätzen standzuhalten, da sie als Ätzmaskenplatten dienen und den darunter liegenden Film schützen.

CMP-Polierpad: Die Verschleißfestigkeit und der niedrige Reibungskoeffizient von TaC-beschichteten Platten machen sie zu idealen Materialien für CMP-Polierpads, mit denen Partikel und Defekte auf der Filmoberfläche effektiv entfernt werden können.

Hochtemperaturofenrohr: Die hohe Temperaturbeständigkeit und Korrosionsbeständigkeit von TaC-beschichteten Platten ermöglichen den Einsatz als Ofenrohre in Hochtemperaturöfen für Hochtemperaturglühen, Diffusion und andere Prozesse.

Kombiniert mit den Produkteigenschaften vonTaC-BeschichtungsplatteEs wird festgestellt, dass dieses Produkt eine unersetzliche Schlüsselrolle bei der Verbesserung der Geräteleistung, der Verlängerung der Gerätelebensdauer und der Verbesserung der Produktionseffizienz spielt. 

Als professioneller Hersteller vonGaN auf SiC-Epi-Akzeptor, Poröser GraphitUndTaC-BeschichtungsplatteIn China besteht VeTek Semiconductor stets auf der Bereitstellung maßgeschneiderter Produktdienstleistungen und ist bestrebt, der Branche erstklassige Technologie- und Produktlösungen anzubieten. Wir freuen uns sehr auf Ihre weitere Beratung.

Technische Parameter der CVD-TAC-BESCHICHTUNG：

Ersatzteilshops für TaC-Beschichtung：

Überblick über die Industriekette der Halbleiterchip-Epitaxie：