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China Tantalcarbid-Beschichtung Hersteller, Lieferant, Fabrik

VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller von Tantalcarbid-Beschichtungsmaterialien für die Halbleiterindustrie. Zu unserem Hauptproduktangebot gehören CVD-Tantalcarbid-Beschichtungsteile, gesinterte TaC-Beschichtungsteile für das SiC-Kristallwachstum oder den Halbleiterepitaxieprozess. VeTek Semiconductor hat ISO9001 bestanden und verfügt über eine gute Qualitätskontrolle. VeTek Semiconductor ist bestrebt, durch kontinuierliche Forschung und Entwicklung iterativer Technologien zum Innovator in der Tantalcarbid-Beschichtungsindustrie zu werden.

Die Hauptprodukte sindTantalcarbid-beschichteter Deflektorring, TaC-beschichteter Umlenkring, TaC-beschichtete Halbmondteile, Tantalcarbid-beschichtete Planetenrotationsscheibe (Aixtron G10), TaC-beschichteter Tiegel; TaC-beschichtete Ringe; TaC-beschichteter poröser Graphit; Graphitsuszeptor mit Tantalkarbidbeschichtung; TaC-beschichteter Führungsring; TaC-Tantalcarbid-beschichtete Platte; TaC-beschichteter Wafer-Suszeptor; TaC-Beschichtungsring; TaC-Beschichtung Graphitabdeckung; TaC-beschichteter Brockenusw., die Reinheit liegt unter 5 ppm, kann die Kundenanforderungen erfüllen.

TaC-Beschichtungsgraphit wird hergestellt, indem die Oberfläche eines hochreinen Graphitsubstrats mit einer feinen Schicht Tantalkarbid durch ein proprietäres CVD-Verfahren (Chemical Vapour Deposition) beschichtet wird. Der Vorteil ist im folgenden Bild dargestellt:

Excellent properties of TaC coating graphite

Die Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung hat aufgrund ihres hohen Schmelzpunkts von bis zu 3880 °C, ihrer hervorragenden mechanischen Festigkeit, Härte und Beständigkeit gegen Thermoschocks Aufmerksamkeit erregt, was sie zu einer attraktiven Alternative zu Epitaxieprozessen für Verbindungshalbleiter mit höheren Temperaturanforderungen macht. wie das Aixtron MOCVD-System und der LPE-SiC-Epitaxieprozess. Es findet auch eine breite Anwendung im SiC-Kristallwachstumsprozess mit der PVT-Methode.

Hauptmerkmale:

●Temperaturstabilität

●Ultrahohe Reinheit

●Beständigkeit gegen H2, NH3, SiH4, Si

●Beständigkeit gegen thermische Bestände

●Starke Haftung auf Graphit

●Schutzbeschichtung

● Größe bis 750 mm Durchmesser (Der einzige Hersteller in China erreicht diese Größe)

Anwendungen:

●Waffelträger

● Induktiver Heizsuszeptor

● Widerstandsheizelement

●Satellitenscheibe

●Duschkopf

●Führungsring

●LED-Epi-Empfänger

●Einspritzdüse

●Abdeckring

● Hitzeschild

Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung auf einem mikroskopischen Querschnitt:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

Parameter der VeTek Semiconductor Tantalcarbid-Beschichtung:

Physikalische Eigenschaften der TaC-Beschichtung
Dichte	14,3 (g/cm³)
Spezifischer Emissionsgrad	0.3
Wärmeausdehnungskoeffizient	6,3 10^-6/K
Härte (HK)	2000 HK
Widerstand	1×10^-5Ohm*cm
Thermische Stabilität	<2500℃
Graphitgrößenänderungen	-10~-20um
Beschichtungsdicke	≥20um typischer Wert (35um±10um)

TaC-Beschichtung EDX-Daten：

EDX data of TaC coating

Kristallstrukturdaten der TaC-Beschichtung:

Element	Atomprozent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Durchschnitt
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ihnen	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-Beschichtungsfutter TaC-beschichtete Planetenscheibe TaC-beschichtete Platte Rotationsplatte mit TaC-Beschichtung TaC-Beschichtungsempfänger Abdeckung mit CVD-TaC-Beschichtung CVD-TaC-Beschichtungsring TaC-Beschichtungsplatte

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CVD-TaC-Beschichtungsring

Der CVD-TaC-Beschichtungsring von VeTek Semiconductor ist eine äußerst vorteilhafte Komponente, die den anspruchsvollen Anforderungen von Siliziumkarbid-Kristallwachstumsprozessen (SiC) gerecht wird. Der CVD-TaC-Beschichtungsring bietet eine hervorragende Hochtemperaturbeständigkeit und chemische Inertheit und ist damit die ideale Wahl für Umgebungen mit erhöhten Temperaturen und korrosiven Bedingungen. Wir sind bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten und freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu sein in China.

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LPE SiC EPI Halbmond

LPE SiC Epi Halfmoon von VeTek Semiconductor, ein revolutionäres Produkt, das entwickelt wurde, um die SiC-Epitaxieprozesse im LPE-Reaktor zu verbessern. Diese hochmoderne Lösung verfügt über mehrere Schlüsselfunktionen, die eine überragende Leistung und Effizienz in Ihren gesamten Fertigungsabläufen gewährleisten. Wir freuen uns auf eine langfristige Zusammenarbeit mit Ihnen.

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LED-EPI-Empfänger

VeTek Semiconductor ist ein führender Anbieter von TaC-Beschichtungen und SiC-beschichteten Graphitteilen. Wir sind auf die Herstellung hochmoderner LED-EPI-Suszeptoren spezialisiert, die für LED-Epitaxieprozesse unerlässlich sind. Mit einem starken Fokus auf Innovation und Qualität bieten wir zuverlässige Lösungen, die den strengen Anforderungen der LED-Industrie gerecht werden. Kontaktieren Sie uns noch heute, um Ihre Anfragen zu besprechen und herauszufinden, wie unsere Produkte Ihre Fertigungsprozesse verbessern können.

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MOCVD-Suszeptor mit TaC-Beschichtung

VeTek Semiconductor ist ein umfassender Anbieter, der sich mit Forschung, Entwicklung, Produktion, Design und Vertrieb von TaC-Beschichtungen und SiC-Beschichtungsteilen beschäftigt. Unsere Expertise liegt in der Herstellung hochmoderner MOCVD-Suszeptoren mit TaC-Beschichtung, die eine entscheidende Rolle im LED-Epitaxieprozess spielen. Wir laden Sie herzlich ein, mit uns Anfragen und weitere Informationen zu besprechen.

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TaC-beschichteter Deep-UV-LED-Suszeptor

VeTek Semiconductor ist ein integrierter Anbieter, der sich mit Forschung und Entwicklung, Produktion, Design und Vertrieb von TaC-Beschichtungen beschäftigt. Wir sind auf die Herstellung hochmoderner TaC-beschichteter UV-LED-Suszeptoren spezialisiert, die entscheidende Komponenten im LED-Epitaxieprozess sind. Unser TaC-beschichteter Deep-UV-LED-Suszeptor bietet hohe Wärmeleitfähigkeit, hohe mechanische Festigkeit, verbesserte Produktionseffizienz und epitaktischen Waferschutz. Willkommen bei uns.

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Tantalkarbid-TaC-beschichteter Halbmond

VeTek Semiconductor ist der führende Hersteller und Lieferant in China für mit Tantalcarbid TaC beschichtete Halbmonde. Wir haben uns auf Forschung und Entwicklung sowie Produktion spezialisiert, können die Qualität gut kontrollieren und einen wettbewerbsfähigen Preis anbieten. Sie sind herzlich eingeladen, unsere Fabrik zu besuchen, um weitere Gespräche über eine langfristige Zusammenarbeit zu führen.

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Als professioneller Tantalcarbid-Beschichtung Hersteller und Lieferant in China verfügen wir über eine eigene Fabrik. Egal, ob Sie maßgeschneiderte Dienstleistungen benötigen, um den spezifischen Anforderungen Ihrer Region gerecht zu werden, oder fortschrittliche und langlebige Produkte aus China kaufen möchten, Sie können uns eine Nachricht hinterlassen.