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China Tantalcarbid-Beschichtung Hersteller, Lieferant, Fabrik

VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller von Tantalcarbid-Beschichtungsmaterialien für die Halbleiterindustrie. Zu unserem Hauptproduktangebot gehören CVD-Tantalcarbid-Beschichtungsteile, gesinterte TaC-Beschichtungsteile für das SiC-Kristallwachstum oder den Halbleiterepitaxieprozess. VeTek Semiconductor hat ISO9001 bestanden und verfügt über eine gute Qualitätskontrolle. VeTek Semiconductor ist bestrebt, durch kontinuierliche Forschung und Entwicklung iterativer Technologien zum Innovator in der Tantalcarbid-Beschichtungsindustrie zu werden.

Die Hauptprodukte sindTantalcarbid-beschichteter Deflektorring, TaC-beschichteter Umlenkring, TaC-beschichtete Halbmondteile, Tantalcarbid-beschichtete Planetenrotationsscheibe (Aixtron G10), TaC-beschichteter Tiegel; TaC-beschichtete Ringe; TaC-beschichteter poröser Graphit; Graphitsuszeptor mit Tantalkarbidbeschichtung; TaC-beschichteter Führungsring; TaC-Tantalcarbid-beschichtete Platte; TaC-beschichteter Wafer-Suszeptor; TaC-Beschichtungsring; TaC-Beschichtung Graphitabdeckung; TaC-beschichteter Brockenusw., die Reinheit liegt unter 5 ppm, kann die Kundenanforderungen erfüllen.

TaC-Beschichtungsgraphit wird hergestellt, indem die Oberfläche eines hochreinen Graphitsubstrats mit einer feinen Schicht Tantalkarbid durch ein proprietäres chemisches Gasphasenabscheidungsverfahren (CVD) beschichtet wird. Der Vorteil ist im folgenden Bild dargestellt:

Performance Advantages of Tantalum Carbide Coating

Die Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung hat aufgrund ihres hohen Schmelzpunkts von bis zu 3880 °C, ihrer hervorragenden mechanischen Festigkeit, Härte und Beständigkeit gegen Thermoschocks Aufmerksamkeit erregt, was sie zu einer attraktiven Alternative zu Epitaxieprozessen für Verbindungshalbleiter mit höheren Temperaturanforderungen macht. wie das Aixtron MOCVD-System und der LPE-SiC-Epitaxieprozess. Es findet auch eine breite Anwendung im SiC-Kristallwachstumsprozess mit der PVT-Methode.

Hauptmerkmale:

Temperaturstabilität

Ultrahohe Reinheit

Beständigkeit gegen H2, NH3, SiH4, Si

Beständigkeit gegen thermische Bestände

Starke Haftung auf Graphit

Schutzbeschichtung

Größe bis 750 mm Durchmesser (Der einzige Hersteller in China erreicht diese Größe)

Anwendungen:

Waffelträger

Induktiver Heizsuszeptor

Widerstandsheizelement

Satellitenscheibe

Duschkopf

Führungsring

LED-Epi-Empfänger

Einspritzdüse

Abdeckring

Hitzeschild

Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung auf einem mikroskopischen Querschnitt:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

Parameter der VeTek Semiconductor Tantalcarbid-Beschichtung:

Physikalische Eigenschaften der TaC-Beschichtung
Dichte	14,3 (g/cm³)
Spezifischer Emissionsgrad	0.3
Wärmeausdehnungskoeffizient	6,3 10^-6/K
Härte (HK)	2000 HK
Widerstand	1×10^-5Ohm*cm
Thermische Stabilität	<2500℃
Graphitgrößenänderungen	-10~-20um
Beschichtungsdicke	≥20um typischer Wert (35um±10um)

TaC-Beschichtung EDX-Daten：

TaC coating EDX data

Kristallstrukturdaten der TaC-Beschichtung

Element	Atomprozent
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Durchschnitt
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
Ta M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC-Beschichtungsfutter TaC-beschichtete Planetenscheibe TaC-beschichtete Platte TaC-Beschichtungsrotationsplatte TaC-Beschichtungssuszeptor Abdeckung mit CVD-TaC-Beschichtung CVD-TaC-Beschichtungsring TaC-Beschichtungsplatte

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TaC-beschichteter dreiblättriger Ring

VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller und Innovator von TaC-beschichteten dreiblättrigen Ringen in China. Wir sind seit vielen Jahren auf TaC- und SiC-Beschichtungen spezialisiert. Unsere Produkte zeichnen sich durch Korrosionsbeständigkeit und hohe Festigkeit aus. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Mit Tantalkarbid beschichtetes Spannfutter

VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller und Innovator von Tantalcarbid-beschichteten Spannfuttern in China. Wir sind seit vielen Jahren auf TaC-Beschichtungen spezialisiert. Unsere Produkte weisen eine hohe Reinheit und eine hohe Temperaturbeständigkeit von bis zu 2000 °C auf. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden Partner in China.

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Mit Tantalkarbid beschichtete Abdeckung

VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller und Innovator von tantalkarbidbeschichteten Abdeckungen in China. Wir sind seit vielen Jahren auf TaC- und SiC-Beschichtungen spezialisiert. Unsere Produkte zeichnen sich durch Korrosionsbeständigkeit und hohe Festigkeit aus. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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Poröser Graphit mit TaC-Beschichtung

Poröser Graphit mit TaC-Beschichtung ist ein fortschrittliches Halbleiterverarbeitungsmaterial von VeTek Semiconductor. Poröser Graphit mit TaC-Beschichtung kombiniert die Vorteile von porösem Graphit und einer Tantalcarbid-Beschichtung (TaC) mit guter Wärmeleitfähigkeit und Gasdurchlässigkeit. VeTek Semiconductor ist bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten, und wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu sein.

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Tantalkarbid-Beschichtungsabdeckung

VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller und Innovator von Tantalcarbid-Beschichtungsabdeckungen in China. Wir konzentrieren uns auf die Bereitstellung hochreiner, hochtemperaturbeständiger Tantalcarbidprodukte. Unsere mit Tantalkarbid beschichteten Abdeckungen zeichnen sich durch hervorragende Leistung und Zuverlässigkeit aus und können Materialien bei extrem hohen Temperaturen und korrosiven Umgebungen wirksam schützen. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.

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TaC-beschichteter Deflektorring

Der TaC-beschichtete Deflektorring von VeTek Semiconductor ist eine hochspezialisierte Komponente, die für SiC-Kristallwachstumsprozesse entwickelt wurde. Die TaC-Beschichtung bietet eine hervorragende Hochtemperaturbeständigkeit und chemische Inertheit, um den hohen Temperaturen und korrosiven Umgebungen während des Kristallwachstumsprozesses standzuhalten. Dies gewährleistet eine stabile Leistung und eine lange Lebensdauer der Komponente und reduziert die Häufigkeit des Austauschs und die Ausfallzeiten. Wir sind bestrebt, Qualitätsprodukte zu wettbewerbsfähigen Preisen anzubieten und freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu sein.

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Als professioneller Tantalcarbid-Beschichtung Hersteller und Lieferant in China verfügen wir über eine eigene Fabrik. Egal, ob Sie maßgeschneiderte Dienstleistungen benötigen, um den spezifischen Anforderungen Ihrer Region gerecht zu werden, oder fortschrittliche und langlebige Produkte aus China kaufen möchten, Sie können uns eine Nachricht hinterlassen.