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China Tantalcarbid-Beschichtung Hersteller, Lieferant, Fabrik
VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller von Tantalcarbid-Beschichtungsmaterialien für die Halbleiterindustrie. Zu unserem Hauptproduktangebot gehören CVD-Tantalcarbid-Beschichtungsteile, gesinterte TaC-Beschichtungsteile für das SiC-Kristallwachstum oder den Halbleiterepitaxieprozess. VeTek Semiconductor hat ISO9001 bestanden und verfügt über eine gute Qualitätskontrolle. VeTek Semiconductor ist bestrebt, durch kontinuierliche Forschung und Entwicklung iterativer Technologien zum Innovator in der Tantalcarbid-Beschichtungsindustrie zu werden.
Die Hauptprodukte sindTantalcarbid-beschichteter Deflektorring, TaC-beschichteter Umlenkring, TaC-beschichtete Halbmondteile, Tantalcarbid-beschichtete Planetenrotationsscheibe (Aixtron G10), TaC-beschichteter Tiegel; TaC-beschichtete Ringe; TaC-beschichteter poröser Graphit; Graphitsuszeptor mit Tantalkarbidbeschichtung; TaC-beschichteter Führungsring; TaC-Tantalcarbid-beschichtete Platte; TaC-beschichteter Wafer-Suszeptor; TaC-Beschichtungsring; TaC-Beschichtung Graphitabdeckung; TaC-beschichteter Brockenusw., die Reinheit liegt unter 5 ppm, kann die Kundenanforderungen erfüllen.
TaC-Beschichtungsgraphit wird hergestellt, indem die Oberfläche eines hochreinen Graphitsubstrats mit einer feinen Schicht Tantalkarbid durch ein proprietäres chemisches Gasphasenabscheidungsverfahren (CVD) beschichtet wird. Der Vorteil ist im folgenden Bild dargestellt:
Die Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung hat aufgrund ihres hohen Schmelzpunkts von bis zu 3880 °C, ihrer hervorragenden mechanischen Festigkeit, Härte und Beständigkeit gegen Thermoschocks Aufmerksamkeit erregt, was sie zu einer attraktiven Alternative zu Epitaxieprozessen für Verbindungshalbleiter mit höheren Temperaturanforderungen macht. wie das Aixtron MOCVD-System und der LPE-SiC-Epitaxieprozess. Es findet auch eine breite Anwendung im SiC-Kristallwachstumsprozess mit der PVT-Methode.
Hauptmerkmale:
Temperaturstabilität
Ultrahohe Reinheit
Beständigkeit gegen H2, NH3, SiH4, Si
Beständigkeit gegen thermische Bestände
Starke Haftung auf Graphit
Schutzbeschichtung
Größe bis 750 mm Durchmesser (Der einzige Hersteller in China erreicht diese Größe)
Anwendungen:
Waffelträger
Induktiver Heizsuszeptor
Widerstandsheizelement
Satellitenscheibe
Duschkopf
Führungsring
LED-Epi-Empfänger
Einspritzdüse
Abdeckring
Hitzeschild
Tantalcarbid (TaC)-Beschichtung auf einem mikroskopischen Querschnitt:
Parameter der VeTek Semiconductor Tantalcarbid-Beschichtung:
| Physikalische Eigenschaften der TaC-Beschichtung | |
| Dichte | 14,3 (g/cm³) |
| Spezifischer Emissionsgrad | 0.3 |
| Wärmeausdehnungskoeffizient | 6,3 10-6/K |
| Härte (HK) | 2000 HK |
| Widerstand | 1×10-5Ohm*cm |
| Thermische Stabilität | <2500℃ |
| Graphitgrößenänderungen | -10~-20um |
| Beschichtungsdicke | ≥20um typischer Wert (35um±10um) |
TaC-Beschichtung EDX-Daten：
Kristallstrukturdaten der TaC-Beschichtung
| Element | Atomprozent | |||
| Pt. 1 | Pt. 2 | Pt. 3 | Durchschnitt | |
| C K | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
| Ta M | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
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Mit Tantalcarbid beschichtete Röhre für das Kristallwachstum
VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller und Innovator von mit Tantalkarbid beschichteten Rohren für die Kristallzüchtung in China. Wir sind seit vielen Jahren auf Keramikbeschichtungen spezialisiert. Unsere Produkte zeichnen sich durch hohe Reinheit und hohe Temperaturbeständigkeit aus. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden in China.
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TaC-beschichteter Ring für SiC-Epitaxialreaktor
VeTek Semiconductor ist ein Hersteller und Innovator von großen TaC-beschichteten Ringen für SiC-Epitaxialreaktoren in China. Wir sind seit vielen Jahren auf TaC-Beschichtungen spezialisiert. Unsere Produkte zeichnen sich durch hohe Reinheit, hohe Stabilität, ausgezeichnete Korrosionsbeständigkeit und hohe Haftfestigkeit aus. Wir schauen Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
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Mit Tantalkarbid beschichtetes Halbmondteil für LPE
VeTek Semiconductor ist ein großformatiges, mit Tantalkarbid beschichtetes Halbmondteil für LPE-Hersteller und Innovator in China. Wir sind seit vielen Jahren auf TaC-Beschichtung spezialisiert. Unsere Produkte können Temperaturen über 2000 Grad Celsius standhalten und die Lebensdauer von Verbrauchsmaterialien verlängern. Wir freuen uns um Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
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TaC-beschichteter Führungsring
VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller und Innovator von TaC-beschichteten Führungsringen in China. Wir sind seit vielen Jahren auf Keramikbeschichtungen spezialisiert. TaC-beschichtete Führungsringe werden hauptsächlich zur Führung und Steuerung des Luftstroms verwendet, um die Ausbeute des Einkristallwachstums zu steigern. Gerne können Sie uns für weitere Informationen anfragen.
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Mit Tantalkarbid beschichtete Planetenrotationsscheibe
VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller und Innovator von mit Tantalkarbid beschichteten Planetenrotationsscheiben in China. Wir sind seit vielen Jahren auf Keramikbeschichtungen spezialisiert. Unsere Produkte zeichnen sich durch hohe Reinheit und hohe Temperaturbeständigkeit aus. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner zu werden China.
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TaC-beschichteter Graphit-Wafer-Träger
VeTek Semiconductor ist ein führender Hersteller und Innovator von TaC-beschichteten Graphit-Waferträgern in China. Wir sind seit vielen Jahren auf SiC- und TaC-Beschichtungen spezialisiert. Unser TaC-beschichteter Graphit-Waferträger weist eine höhere Temperaturbeständigkeit und Verschleißfestigkeit auf. Wir freuen uns darauf, Ihr langfristiger Partner in China zu werden.
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Als professioneller Tantalcarbid-Beschichtung Hersteller und Lieferant in China verfügen wir über eine eigene Fabrik. Egal, ob Sie maßgeschneiderte Dienstleistungen benötigen, um den spezifischen Anforderungen Ihrer Region gerecht zu werden, oder fortschrittliche und langlebige Produkte aus China kaufen möchten, Sie können uns eine Nachricht hinterlassen.
